[实用新型]高度小型化的基片集成波导谐振器

权利要求书

1.一种高度小型化的基片集成波导谐振器，包括从上往下依次层叠的第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层和第三金属覆铜层，其特征在于，所述金属化通孔依次贯穿了第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层与第三金属覆铜层连接，形成上下两组层叠的正方形腔，所述第二金属覆铜层中对应于正方形腔的位置内紧靠金属化通孔处具有一组贯穿第二金属覆铜层的C型槽，所述C型槽临近两端处分别连接两根微带线，所述微带线靠近C型槽的一端两侧分别具有贯穿第二金属覆铜层的耦合槽，所述耦合槽与C型槽相连，所述金属化通孔在微带线、耦合槽处中断。

2.一种高度小型化的基片集成波导谐振器，包括从上往下依次层叠的第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层和第三金属覆铜层，其特征在于，所述金属化通孔依次贯穿了第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层与第三金属覆铜层连接，形成上下两组层叠的正方形腔，所述第二金属覆铜层中对应于正方形腔的位置内靠近金属化通孔处具有两组贯穿第二金属覆铜层的L型槽，在所述L型槽中间适当位置处连接微带线，所述微带线靠近L型槽的一端两侧分别具有贯穿第二金属覆铜层的耦合槽，所述耦合槽与L型槽相连，所述金属化通孔在微带线、耦合槽处中断。

3.一种高度小型化的基片集成波导谐振器，包括从上往下依次层叠的第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层和第三金属覆铜层，其特征在于，所述金属化通孔依次贯穿了第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层与第三金属覆铜层连接，形成两组层叠的等腰直角三角形腔，其斜边一侧视作开路，即斜边外侧没有金属化通孔，所述第二金属覆铜层中对应于等腰直角三角形腔的位置内紧靠金属化通孔处具有一组贯穿第二金属覆铜层的L型槽，所述L型槽临近两端处分别连接两根微带线，所述微带线靠近L型槽的一端两侧分别具有贯穿第二金属覆铜层的耦合槽，所述耦合槽与L型槽相连，所述金属化通孔在微带线、耦合槽处中断。

4.一种高度小型化的基片集成波导谐振器，包括从上往下依次层叠的第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层和第三金属覆铜层，其特征在于，所述金属化通孔依次贯穿了第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层与第三金属覆铜层连接，形成两组层叠的等腰直角三角形腔，所述第二金属覆铜层中对应于等腰直角三角形腔的位置内紧靠金属化通孔处具有一组贯穿第二金属覆铜层的L型槽，所述L型槽临近两端处分别连接两根微带线，所述微带线靠近L型槽的一端两侧分别具有贯穿第二金属覆铜层的耦合槽，所述耦合槽与L型槽相连，所述金属化通孔在微带线、耦合槽处中断，第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层和第三金属覆铜层对应于等腰直角三角形腔的斜边一侧向外延伸形成延伸区域，所述延伸区域具有一排隔离金属化通孔，所述隔离金属化通孔依次贯穿了第一金属隔覆铜区的延伸区域、第一介质层的延伸区域、第二金属层的延伸区域、第二介质层的延伸区域与第三金属覆铜层的延伸区域连接，所述第二金属层的延伸区域靠近隔离金属化通孔的位置处且位于等腰直角三角形腔的内侧有隔离缝。

5.一种高度小型化的基片集成波导谐振器，包括从上往下依次层叠的第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层和第三金属覆铜层，其特征在于，所述金属化通孔依次贯穿了第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层与第三金属覆铜层连接，形成两组层叠的等腰直角三角形腔，其斜边一侧视作开路，即斜边外侧没有金属化通孔，所述第二金属覆铜层中对应于等腰直角三角形腔的位置内紧靠金属化通孔处具有两组贯穿第二金属覆铜层的直槽，所述直槽临近中间适当位置处连接微带线，所述微带线靠近直槽的一端两侧分别具有贯穿第二金属覆铜层的耦合槽，所述耦合槽与直槽相连，所述金属化通孔在微带线、耦合槽处中断。

6.一种高度小型化的基片集成波导谐振器，包括从上往下依次层叠的第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层和第三金属覆铜层，其特征在于，所述金属化通孔依次贯穿了第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层与第三金属覆铜层连接，形成两组层叠的等腰直角三角形腔，所述第二金属覆铜层中对应于等腰直角三角形腔的位置内紧靠金属化通孔处具有两组贯穿第二金属覆铜层的直槽，所述直槽临近中间适当位置处连接微带线，所述微带线靠近直槽的一端两侧分别具有贯穿第二金属覆铜层的耦合槽，所述耦合槽与直槽相连，所述金属化通孔在微带线、耦合槽处中断，第一金属覆铜层、第一介质层、第二金属覆铜层、第二介质层和第三金属覆铜层对应于等腰直角三角形腔的斜边一侧向外延伸形成延伸区域，所述延伸区域具有一排隔离金属化通孔，所述隔离金属化通孔依次贯穿了第一金属隔覆铜区的延伸区域、第一介质层的延伸区域、第二金属层的延伸区域、第二介质层的延伸区域与第三金属覆铜层的延伸区域连接，所述第二金属层的延伸区域靠近隔离金属化通孔的位置处且位于等腰直角三角形腔的一侧有隔离缝，所述隔离缝与两组直槽末端相连。