[实用新型]一种等离子体表面改性装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种等离子体表面改性装置，尤其涉及一种用于提高透明导电膜玻璃表面湿润性的装置。 

背景技术

透明导电膜玻璃具有较好的光电性能，广泛应用于用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置、触摸式开关和建筑玻璃等领域。但透明导电膜玻璃较低的表面湿润性限制了其在相关产业中的进一步应用，如对于具有三明治结构的有机电致发光器件OLED来说，电极的表面湿润性直接影响了载流子注入的势垒，从而很大程度上决定了器件的发光亮度和效率。钟志有在氧等离子体处理改善ITO电极表面湿润性中提出了采用氧等离子体处理对有机发光器件ITO电极进行表面改性，研究了氧等离子体处理对ITO电极表面湿润性的影响，该技术属于小面积处理，处理效率低，且设备无法实现工业化生产。 

发明内容

本实用新型的目的在于针对透明导电膜玻璃表面湿润性等问题，提供一种等离子体表面改性装置，提高透明导电膜玻璃的表面湿润性，与其它方法或装置相比具有：能同时进行各类透明导电膜玻璃大面积表面改性处理，且与透明导电膜玻璃生产工艺相兼容。 

本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种等离子体表面改性装置，包括第一封头、第二封头、导电膜玻璃预放区和导电膜玻璃取样区，离子辉光放电区；所述离子辉光放电区底部的内表面上设一能在所述装置的轴向作水平移动的导电膜玻璃支架；在所述离子辉光放电区的顶部粘结电极组件固定架；所述电极组件固定架上的粘结多对电极组件，所述电极组件由屏蔽金属层、绝缘材料层和放电电极依次粘结而成，沿等离子体表面改性装置轴向竖立平行排列；所述导电膜玻璃支架上表面设有多个与导电膜玻璃厚度一致的凹槽。 

所述的电极组件固定架上设有3对电极组件；导电膜玻璃支架上表面设有3个与导电膜玻璃厚度一致的凹槽。 

所述的离子体表面改性装置为真一直径为1000mm，长度为4500mm，壁厚为10mm的真空容器。 

所述的电极组件之间的距离为40mm，放电电极尺寸均为500mm×500mm。 

本实用新型涉及的是一种等离子体表面改性装置，能够很方便地进行透明导电膜玻璃的大面积表面的等离子体改性，结构简单、操作方便、稳定性好、处理结果重复性好、能同 时进行各类透明导电膜玻璃的表面改性。本装置解决了透明导电膜玻璃连续性工业化处理等问题，同时也与透明导电膜玻璃生产工艺相兼容，能够减少中间环节，提高生产效率。 

附图说明

下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步的详细描述。 

图1是本实用新型的整体结构示意图。 

图中：1.第一封头；2.导电膜玻璃预防区；3离子辉光放电区.；4.导电膜玻璃取样区；1’.第二封头； 

图2是本实用新型的离子辉光放电区的结构示意图。 

图中：5.电极组件固定架；6.电极组件；7.导电膜玻璃；8.导电膜玻璃支架；9.凹槽 

图3是本实用新型的电极组件结构示意图。 

图中：6-1.屏蔽金属层；6-2.绝缘材料层；6-3.放电电极 

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例作详细说明：本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。 

如图1至图3所示：一种等离子体表面改性装置，包括第一封头1和第二封头1’、导电膜玻璃预放区2、导电膜玻璃取样区4和离子辉光放电区3；在所述离子辉光放电区3的底部的内表面上设一能在所述装置的轴向作水平移动的导电膜玻璃支架8；在离子辉光放电区3顶部粘结电极组件固定架5；所述电极组件固定架5上的粘结多对电极组件6，所述电极组件6由屏蔽金属层6-1、绝缘材料层6-2和放电电极6-3依次粘结而成，沿所述装置的轴向竖立平行排列；所述导电膜玻璃支架8上表面设有多个与导电膜玻璃7厚度一致的凹槽9，凹槽9位于电极组件6两两形成的间隙的正下方。