[实用新型]检查装置有效
| 申请号： | 201120417763.8 | 申请日： | 2011-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN202523695U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 辻治之;木内智一 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
1.一种检查装置，其特征在于，包括：
输送台，其具有用于支承基板并以沿输送方向输送该基板的方式进行旋转的辊；
驱动机构，其用于使上述基板沿上述输送方向移动；
定位构件驱动部，其设置于上述输送台的靠上述基板的输入侧的端部侧，用于保持与上述基板抵接的定位构件并使该定位构件向上述输送方向移动；
端面检测部，其用于检测上述基板的与上述输送方向平行的方向的端面；
检查部，其用于根据上述端面检测部所检测出的端面的信息来进行上述基板的检查；以及
基准构件驱动部，其设置于上述检查部和上述定位构件驱动部之间，用于保持与上述基板抵接的基准构件并驱动该基准构件而使该基准构件升降。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
上述定位构件呈圆柱状，并能够绕该圆柱的中心轴线旋转。
3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
上述基准构件的比至少与上述基板抵接的区域靠上方的部位朝向上述输送方向的前方倾斜。
4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
上述驱动机构具有用于吸附保持上述基板的吸盘。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其特征在于，
上述基准构件设置有多个，
上述定位构件相对于多个上述基准构件中的位于上述输送台的宽度方向的最外缘侧的基准构件位于上述宽度方向的内部侧。
6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
上述定位构件驱动部用于驱动上述定位构件而使上述定位构件升降。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
