[实用新型]石墨预热片、半导体预热装置、硅芯炉及磷检炉

权利要求书

1.一种石墨预热片，其特征在于：所述石墨预热片包括本体，所述本体上设置有多个通孔。

2.如权利要求1所述的石墨预热片，其特征在于：所述本体为圆片状结构，所述多个通孔在靠近所述本体的边缘处密集，在靠近所述本体的圆心处稀疏。

3.如权利要求1所述的石墨预热片，其特征在于：所述石墨预热片还包括操纵柄，所述操纵柄与所述本体连接且该二者处于同一平面内。

4.一种半导体预热装置，位于硅芯炉内部，包括高频线圈，其特征在于：还包括与所述高频线圈同轴设置的石墨预热片，所述石墨预热片包括本体，所述本体上设置有多个通孔。

5.如权利要求4所述的半导体预热装置，其特征在于：所述本体为圆片状结构，所述多个通孔在靠近所述本体的边缘处密集，在靠近所述本体的圆心处稀疏。

6.如权利要求4所述的半导体预热装置，其特征在于：所述石墨预热片还包括操纵柄，所述操纵柄与所述本体连接且该二者处于同一平面内。

7.如权利要求4所述的半导体预热装置，其特征在于：所述半导体预热装置还包括预热片抽离装置，所述预热片抽离装置包括控制杆，所述控制杆一端伸出所述硅芯炉，所述控制杆的另一端与所述石墨预热片固定连接。

8.如权利要求4所述的半导体预热装置，其特征在于：所述高频线圈连接有一功率监测仪，可实时监测所述高频线圈的输出功率。

9.一种单次可拉制多根硅芯的硅芯炉，包括籽晶固定装置和炉体，其特征在于：所述硅芯炉还包括如权利要求4~8任一项中所述的半导体预热装置，炉体内放置有棒状母料，所述半导体预热装置位于所述籽晶固定装置和母料之间，对所述母料进行预热。

10.一种磷检炉，包括炉腔，炉腔内放置有棒状硅料，其特征在于：还包括如权利要求4~8任一项中所述的半导体预热装置，所述半导体预热装置设置于所述炉腔内，对所述硅料进行预热。