[实用新型]氮化硅喷雾系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及流体喷涂技术领域，尤其涉及一种氮化硅喷雾系统。

背景技术

目前各光伏企业里使用氮化硅喷雾系统对作为多晶硅铸锭容器的坩埚进行喷涂，现有的氮化硅喷雾系统例如有中国专利CN101797544A公开的太阳能石英坩埚的自动喷涂装置，如图1所示，该自动喷涂装置的喷涂操作台部分包括：空气过滤阀30、蠕动泵31、气动马达32、搅拌桶33和喷涂推车34，搅拌桶33和蠕动泵31固定在喷涂推车34上，蠕动泵31采用步进电机作为动力源，前面板上装有开关和电位器；气动马达32通过支架36安装在喷涂推车34上，气动马达32的输出轴上连接有搅拌轴35，搅拌轴35伸入搅拌桶33中，空气过滤阀30的一端接入气源，空气过滤阀30的另一端通过气管与自动喷枪上的气体入口相连，搅拌桶33内引出的输液管通过蠕动泵31与自动喷枪的液体入口相连。空气过滤阀30与自动喷枪之间的管路上安装有防腐电磁阀，所述蠕动泵31与自动喷枪之间的管路上也安装有防腐电磁阀。具体而言，空气过滤阀30的快结接口分别引出3根气管与自动喷枪上的气体入口相连；从搅拌桶33内引出的输液管经过蠕动泵31和防腐电磁阀37与自动喷枪的液体入口相连。

在该装置中，当氮化硅喷雾从喷枪中喷至坩埚上时，由于是悬浮液体的喷涂，因而喷涂后还要等一段时间待氮化硅溶液干燥后再进行下一步操作；而且操作过程中的粉尘较大，虽然利用自动机器人进行喷涂操作，但过多的粉尘也容易导致机器人发生故障，而且对于大多数工厂目前仍采用的人工手动喷涂的工作模式而言，过多的粉尘仍是威胁工人健康的头号杀手。此外，上述喷雾系统中当与气源连接的用气端部为多个时，也难以实现对每个用气端的压力的精确控制，这也影响了整个生产工艺的控制。因此，必须采用新的喷雾设备以及适应喷涂工艺发展和控制的需求以及操作的更加人性化。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种氮化硅喷雾系统，当用气端为多个时，能够实现对来自气源的气体压力的恒定、精确控制。此外，本实用新型进一步的目的是提高喷涂效率、减少喷涂过程对人体的伤害。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案为：

一种氮化硅喷雾系统，包括：第一气源以及与第一气源相连的多个用气端，所述多个用气端至少一个为喷枪，还包括与喷枪相连的氮化硅溶液提供装置，在第一气源和至少两个所述用气端之间的用气支路上均设有调压机构。

通过这样的设计，当使用多个用气端时，可以通过分立的调压机构实现各用气端的互不干扰的调压控制，从而可以实现对来自第一气源的气体压力的恒定、精确控制。

所述调压机构包括依次连接的空气过滤器、减压阀、油雾器。

空气过滤器用于过滤空气中的灰尘及杂质，减压阀用于调压，油雾器用于滤油、滤湿。

所述多个用气端至少一个为气枪，所述气枪的用气支路上与第一气源之间设有所述调压机构。

通过设置气枪，在与喷枪的喷涂同时使用，使得喷涂至坩埚壁上的氮化硅液体干燥速度加快，提高了喷涂效率，同时又将产生的粉尘吹走，又可以减少喷涂过程中对人体的伤害。

在包括所述气枪的用气支路上，在该支路上连接的调压机构和所述气枪之间还接有气压低于所述第一气源的第二气源。

该第二气源用于更加方便为气枪提供合适压力的气体，此外，由于增加了一个新的第二气源，如果还是与喷枪共用一个调压机构，则当气枪使用时，喷枪就无法使用，而本系统为每个用气端提供分立的调压机构，可以使得各个用气端的使用互不干涉。

该氮化硅喷雾系统还包括与喷枪相连的氮化硅溶液提供装置，该氮化硅溶液提供装置包括依次连接的氮化硅溶液容器、流量可调的数显蠕动泵。

通过恒定精准的数显蠕动泵代替普通的蠕动泵或者气动流量泵，可精准调节溶液流量使溶液持续稳定的供应给喷枪从而满足喷涂工艺需求。选用的数显蠕动泵可以显示流量，具有很强的可控性，排除了以往的气动泵转速难以控制的问题。

在所述数显蠕动泵和喷枪之间还设有节流阀。

设置的节流阀可以更加方便地、精确地调节喷枪中的待喷溶液的流量。

所述多个用气端还包括气动马达以及由气动马达驱动的用于搅拌氮化硅溶液的搅拌棒，所述搅拌棒伸入所述氮化硅溶液容器内，所述气动马达和第一气源之间设有所述调压机构。

此用气端用来对氮化硅溶液进行持续搅拌。

所述喷枪的用气支路上与第一气源之间设有所述调压机构。

本实用新型与现有技术相比具有如下优点和有益效果：