[实用新型]一种氦质谱检漏仪检漏截流装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种氦质谱检漏仪检漏截流装置，可以在应用氦质谱检漏仪抽真空检漏时，实现工件在低真空1000Pa以上至1个大气压下进行检漏。

背景技术

随着科学技术的发展，真空检漏技术要求越来越高。目前在国内外应用最广泛，精度最高的真空检漏设备就是氦质谱检漏仪，但是氦质谱检漏仪在实现真空检漏时也存在局限性，也就是要将检测工件真空度抽到1000Pa以下才能进入检漏状态，因为目前氦质谱检漏仪中所用的分子泵最高承受压力在1000Pa左右，所以当检测工件真空度抽不到1000Pa以下时氦质谱检漏仪无法实现正常检漏。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能够实现工件在低真空1000Pa以上至1个大气压下进行检漏的氦质谱检漏仪检漏截流装置。

为了达到上述的目的，本实用新型的技术方案为：

氦质谱检漏仪检漏截流装置，包括一个空心的接头，所述接头包括进气口、出气口，所述接头的中心位置嵌入一个氦气分离器。所述氦气分离器与接头的内壁紧密贴合。

本实用新型的优点：本实用新型的氦气分离器只对氦气具有良好的渗透率，可以良好阻断其他气体通过。当工件在低真空1000Pa以上至1个大气压下喷氦检漏时，只要氦气进入工件，便可以通过氦气分离器进入氦质谱检漏仪中，从而被检测出来，实现对工件的检漏。本实用新型结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

氦质谱检漏仪检漏截流装置，包括一个空心的接头1，所述接头1包括进气口2、出气口3，所述接头1的中心位置嵌入一个氦气分离器4。所述氦气分离器4与接头1的内壁紧密贴合。

接头1的进气口2与工件相连，接头1的出气口3与氦质谱检漏仪相连，工件在辅助泵抽空下，不管工件真空度能够达到多少，只要氦气进入工件，便可以通过氦气分离器4进入氦质谱检漏仪中，从而被检测出来，实现对工件的检漏。