[实用新型]一种防止高压冷却水冲击变形的靶材组件有效
| 申请号： | 201120424226.6 | 申请日： | 2011-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202322992U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;郑文翔 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防止 高压 冷却水 冲击 变形 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，包括靶材和背板；所述靶材包括溅射面和背面，背板包括固定面和背面，所述背板固定面与靶材背面固定连接，其特征在于，所述背板的背面开设有压力缓冲槽，所述压力缓冲槽由开口处至槽底呈单调向下倾斜状。
2.根据权利要求1所述的防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其特征在于，所述压力缓冲槽为锥形凹槽。
3.根据权利要求2所述的防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其特征在于，所述压力缓冲槽为圆锥形凹槽。
4.根据权利要求1至3任一项所述的防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其特征在于，所述的压力缓冲槽内壁的坡面呈直线型倾斜。
5.根据权利要求4所述的防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其特征在于，所述压力缓冲槽的槽底至所述背板的背面的距离与所述背板的厚度比为1∶4～1∶5。
6.根据权利要求5所述的防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其特征在于，所述背板为圆形，所述压力缓冲槽的口径与所述背板的直径比为0.52～0.57。
7.根据权利要求5所述的防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其特征在于，所述压力缓冲槽内壁坡度为0.8°～1.5°。
8.根据权利要求1所述的防止高压冷却水冲击变形的靶材组件，其特征在于，所述压力缓冲槽开设于所述背板的中心处。
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