[实用新型]一种用于护盖板熔射时的遮护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于护盖板熔射时的遮护装置。

背景技术

护盖板为薄膜制程设备的关键核心零件之一。生产过程中对于微尘粒子的控制十分严格，因此护盖板在使用前，除了需要高质量的洗净外，还要采用熔射的方式，覆盖一层铝熔射层，用于加强控制微尘粒子的方式。

如图1所示，护盖板包括环形本体1，该环形本体1的内侧壁下部边缘沿径向且向内延伸形成环形台阶13，其内侧壁上部边缘沿轴向且向上延伸形成环形凸棱12，环形本体1的外侧壁上部边缘沿轴向且向上延伸形成环形侧壁11。

护盖板并不需要进行全面性的铝熔射，为防止在熔射过程中熔射到不应该熔射的部分，造成无谓的重复作业产生，要对不需要的区域进行遮护作业。

传统的遮护作业方式是采用熔射胶带进行，将熔射胶带贴附于护盖板不需要熔射的区域，作为隔绝的方式。熔射胶带有低黏性、耐冲击、耐高温的特点，适合用于熔射这项作业，但这种方式有以下缺点：

1.由于胶带为低黏性，会发生在熔射过程中胶带被吹开的状况，造成遮护效果丧失不需熔射部分被污染，产生重复作业。

2.进行胶带遮护作业皆采人工进行，由于护盖板内部结构复杂，人工进行遮护作业需耗费大量时间，无法于短时间中大量的进行作业，人力使用效率偏低。

3.熔射胶带虽然为低黏性，当胶带去除时还是会有残胶的产生，若后续去除作业未确实，再使用护盖板时，容易产生电弧效应，会使微尘粒子失去控制。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷而提供一种用于护盖板熔射时的遮护装置，该遮护装置既能在熔射时有效地保护护盖板不需要熔射的区域，又能完全克服熔射胶带作业法的缺陷。

本实用新型的目的是这样实现的：

本实用新型的一种用于护盖板熔射时的遮护装置，包括一圆环状的遮护环体，所述遮护环体的内侧壁下部边缘沿轴向且向下延伸形成一环形的遮护侧壁，所述遮护环体底面上设有一环形凹槽。

上述的一种用于护盖板熔射时的遮护装置，其中，所述遮护装置由不锈钢制成。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：

1.本实用新型不会发生在熔射过程中胶带被吹开的状况。

2.本实用新型使用“放”的一个动作即可以与工件结合，与熔射胶带必须逐个区域的黏贴进行遮护相比较，作业时间明显降低，可大幅增加作业人员作业效率，生产效率连带增加。

3.采用硬件装置方式进行遮护，完全排除残胶未清除确实的疑虑，大幅降低在使用时电弧效应产生的可能，对于生产设备的稳定度维持，有明显的帮助。

附图说明

图1是护盖板的剖视图；

图2是本实用新型的剖视图；

图3是本实用新型的遮护状态结构图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

请参阅图1，图中示出了护盖板的剖视图，该护盖板包括环形本体1，该环形本体1的内侧壁下部边缘沿径向且向内延伸形成环形台阶13，其内侧壁上部边缘沿轴向且向上延伸形成环形凸棱12，环形本体1的外侧壁上部边缘沿轴向且向上延伸形成环形侧壁11。

请参阅图2，图中示出了本实用新型遮护装置的剖视图，该遮护装置包括一圆环状的遮护环体2，遮护环体2的内侧壁下部边缘沿轴向且向下延伸形成一环形的遮护侧壁21，遮护环体2底面上设有一环形凹槽22，本实用新型遮护装置由不锈钢制成。

熔射前，将本实用新型遮护装置如图3所示的结构放于护盖板的内圈中，本实用新型遮护装置遮护环体2的底面置于护盖板环形本体1的顶面上，且护盖板环形本体1上的环形凸棱12嵌于遮护装置遮护环体2的环形凹槽22，进一步强化了遮护装置与护盖板的密合度，有效地遮护了该区域不受熔射的影响。

以上实施例仅供说明本实用新型之用，而非对本实用新型的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴，应由各权利要求所限定。