[实用新型]用于准单晶制备的坩埚底板有效
申请号: | 201120429255.1 | 申请日: | 2011-11-03 |
公开(公告)号: | CN202323111U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 张松江;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B35/00 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 缪利明 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 准单晶 制备 坩埚 底板 | ||
1.用于准单晶制备的坩埚底板,其特征在于,包括:
坩埚,所述坩埚为一端开口设计;
坩埚底板,所述坩埚底板设置在所述坩埚的底部;
底板孔座,所述底板孔座设置在所述坩埚底板上;
底板孔,所述底板孔设置在所述底板孔座上;
籽晶,所述籽晶设置在所述底板孔内。
2.根据权利要求1所述的用于准单晶制备的坩埚底板,其特征在于,所述底板孔座均匀分布在所述坩埚底板上。
3.根据权利要求2所述的用于准单晶制备的坩埚底板,其特征在于,所述底板孔座设置之间设有间隙。
4.根据权利要求3所述的用于准单晶制备的坩埚底板,其特征在于,所述底板孔座的上部至下部呈渐变式设计。
5.根据权利要求1所述的用于准单晶制备的坩埚底板,其特征在于,所述底板孔设置在所述底板孔座的中心上端。
6.根据权利要求5所述的用于准单晶制备的坩埚底板,其特征在于,所述底板孔的数量为9至25个。
7.根据权利要求1所述的用于准单晶制备的坩埚底板,其特征在于,所述籽晶断面的形状为规则的多边形或圆形。
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