[实用新型]排风装置有效

专利信息
申请号: 201120444281.1 申请日: 2011-11-10
公开(公告)号: CN202359202U 公开(公告)日: 2012-08-01
发明(设计)人: 李建国;张琳;杨来宝;胡彩丰 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 韩国胜;王莹
地址: 100016 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及刻蚀清洗技术领域,特别涉及一种排风装置。

背景技术

传统排风系统包括排风支架、设置于排风支架上的防护门、排风罩,以及安装在排风罩上的排风管。传统排风系统通常设计为水平式或垂直式。垂直式即将排风支架竖立,排风罩设于排风支架顶端,这种结构受限于结构及排风面积小等劣势,无法得到很好的应用。水平式即将排风支架水平放置,防护门和排风罩均设置在排风支架上,虽然结构简单,但是酸雾在防护门和排风支架上容易凝结成液滴,然后回滴落到排风支架下面的工件,比如太阳能电池片上,造成对工件的不必要的腐蚀,导致废件率的升高。现有技术中将防护门设置成圆形,并在圆形周围设置排水口来解决上述问题,但是这种方式需要设置多个排水口,制作起来不方便,而且排风支架下方工件的连续行走也会受到影响。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是如何避免排风支架上凝结的药液滴落到工件上,对工件造成腐蚀。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种排风装置,包括排风支架,设置在所述排风支架上的防护门和防护罩,所述防护罩上安装有排风管,所述排风支架倾斜设置。

进一步地,所述排风支架与水平面的夹角为10°~20°。

更进一步地,所述排风支架与水平面的夹角为10°~20°。

进一步地,所述排风支架的一端下方安装有支撑板。

进一步地,所述支撑板为两个,分别设置在所述排风支架相邻的两个角上。

进一步地,所述支撑板为可折叠式。

进一步地,所述防护门和排风罩并排平行设置。

进一步地,所述排风支架远离支撑板的一端下方设置有排水口。

(三)有益效果

上述技术方案具有如下有益效果:通过设置支撑板,使排风支架以一定角度倾斜,不仅不会对工件造成腐蚀,还起到了回收循环利用药液的效果,而且不会对工件的连续行走工艺造成影响;另一方面,相对于水平式设置的排风系统,由于本实用新型的倾斜设置,使得防护门和防护罩的开合更加方便操作。

附图说明

图1是本实用新型实施例的排风装置的结构示意图。

其中,1:排风支架;2:防护门;3:排风罩;4:排风管;5:支撑板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。

如图1所示,为本实用新型实施例的排风装置的结构示意图,该装置包括:排风支架1,排风支架1上设置有防护门2和排风罩3,排风罩2上安装有排风管4。排风支架1的一端安装有支撑板5,将排风支架1的一端支起来,优选地,排风支架1与水平面呈10°~20°的角度倾斜,优选地,该角度为15°。

其中,排风支架1的下方为对太阳能电池片进行湿法刻蚀的储液槽,储液槽中有药液;防护门2的一侧固定于排风支架1上,可开合,以便查看其下侧的工件或传输组件的状况,为便于打开,防护门2上可以安装有把手;排风罩3位于防护门2的旁边,优选地,排风罩3和防护门2并排平行设置。

支撑板5形状不限,优选地,设置两个,在排风支架1一端的两个角上各设置一个,以保证排风支架1的稳定性;更优选地,支撑板5为可折叠式,即可以折叠起来,便于排风支架1的运输,也可以打开来对排风支架1进行支撑。

当药液挥发,在防护门2、排风支架1以及排风罩3上形成液滴之后,由于排风支架1倾斜一定角度,液滴不会直接滴落到工件上,而是会顺着排风支架1的倾斜方向流至排风支架1的最低端,这一端的下面可以直接对应储液槽,于是药液回流到储液槽中;这一端也可以单独设置排水口,将药液排到储液槽中。因此,采用本实用新型提供的排风装置,不仅不会对工件造成腐蚀,还起到了回收循环利用药液的效果,而且不会对工件的连续行走工艺造成影响。

另一方面,相对于水平式设置的排风系统,由于本实用新型的倾斜设置,使得防护门和防护罩的开合更加方便操作。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

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