[实用新型]用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置

权利要求书

1.一种用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，包括：换能器(1)、振子单元(2)、固定装置(3)、耦合介质层(4)和阻抗变压器(8)，所述振子单元(2)通过所述固定装置(3)安装于所述换能器(1)上，所述振子单元(2)与固定装置(3)之间设有所述耦合介质层(4)，所述振子单元(2)由所述阻抗变压器(8)的功率输出驱动；所述振子单元(2)包括：至少两个振子组，其中，每个振子组包括至少一个压电晶体振子，每个振子组中的多个压电晶体振子的固有机械振动频率相当。

2.如权利要求1所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，所述每个振子组中的所有压电晶体振子连接同一功率阻抗变压器的次级线圈的输出端。

3.如权利要求1所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，还包括用于安装固定所述振子单元(2)的腔室(5)。

4.如权利要求3所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，所述腔室(5)上设有用于引入气冷流体的入口(6)和用于导出气冷流体的出口(7)。

5.如权利要求1所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，所述压电晶体振子的形状包括：环形、扇形、蜂窝式及其组合。

6.如权利要求1所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，所述耦合介质层(4)包括：熔点为20摄氏度～100摄氏度的胶水层。

7.如权利要求1所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，所述换能器(1)为石英或红宝石换能器。

8.如权利要求1所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，所述压电晶体振子由经极化处理的锆钛酸铅制备而成。

9.如权利要求1所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，所述每个压电晶体振子采用两个或两个以上的兆声频率，其中一个兆声频率工作于压电晶体振子的固有机械振动频率，并且至少一个其他兆声频率在围绕设定中心频率的一定正负频率区间内扫描。

10.如权利要求1所述的用于湿法腐蚀及清洗工艺的兆声波换能装置，其特征在于，所述每个压电晶体振子采用的两个或两个以上的兆声频率的功率输出并分别连接到功率放大器的阻抗变压器的不同的初级线圈，每个频率对应一个初级线圈，每个振子组都有对应其所需不同频率的不同功率放大器和一个合成用的阻抗变压器。