[实用新型]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：

可多路输出多个波长激光的激光器，适于输出第一波长激光和第二波长激光，其中第一波长激光经过的光路为第一光路，第二波长激光经过的光路为第二光路；

第一光路上的第一扩束镜组、第一可变光阑、第一反射镜、末端反射镜、以及聚焦物镜，所述第一反射镜适于透射第一波长激光并且反射第二波长激光到所述末端反射镜，所述第一可变光阑适于调整第一光路的光斑大小，所述末端反射镜适于将接收的激光反射到聚焦物镜，所述聚焦物镜适于将接收的激光汇聚到焦点；和

第二光路上的第二扩束镜组、第二可变光阑、第二反射镜，所述第二反射镜适于反射第二波长激光到所述第一反射镜以耦合进第一光路，所述第二可变光阑适于调整第二光路的光斑大小；

其中，所述第一和第二扩束镜组包括多片透镜，通过调节所述第一扩束镜组和第二扩束镜组中的透镜间距离，使第一波长激光和第二波长激光经过聚焦物镜聚焦在同一个焦点。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述聚焦物镜为显微物镜或反射式物镜。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述可多路输出多个波长激光的激光器输出的激光的脉宽形式包括纳秒激光，皮秒激光和飞秒激光。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

所述可多路输出多个波长激光的激光器还适于输出第三波长激光，所述第三波长激光经过的光路为第三光路；

所述激光加工装置还包括第三光路上的第三扩束镜组、第三可变光阑、第三反射镜，所述第三反射镜适于透射第二波长激光并且反射第三波长激光到第一反射镜，所述第三可变光阑适于调整第三光路的光斑大小；

所述第一反射镜还适于反射第三波长激光以将其耦合进第一光路。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，

所述可多路输出多个波长激光的激光器还适于输出第四波长激光，所述第四波长激光经过的光路为第四光路；

所述激光加工装置还包括第四光路上的第四扩束镜组、第四可变光阑、第四反射镜，所述第四反射镜适于透射第二波长激光并且反射第四波长激光到第一反射镜，所述第四可变光阑适于调整第四光路的光斑大小；

所述第三反射镜还适于透射第四波长激光到所述第一反射镜；

所述第一反射镜还适于反射第四波长激光以将其耦合进第一光路。

6.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，

所述第一波长激光的波长为355nm；

所述第二波长激光的波长为1064nm；

所述第三波长激光的波长为532nm。

7.根据权利要求6所述的激光加工装置，其特征在于，

所述第一反射镜镀355nm45度增透射膜、532nm和1064nm45度高反射膜；

所述第三反射镜镀1064nm45度增透射膜、532nm45度高反射膜；

所述第二反射镜镀1064nm45度高反射膜；

所述末端反射镜镀355nm、532nm和1064nm45度高反射膜。

8.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括真空吸盘以及四维精密电控平移台；

所述真空吸盘吸附加工对象，从而减少环境震动对加工造成的影响；

所述真空吸盘被固定在四维精密电控平移台上；

所述四维精密电控平移台能够线性运动和旋转运动。

9.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述扩束镜组内的透镜类型为凸透镜或凹透镜。