[实用新型]一种非接触式金属电迁移测量装置有效
| 申请号： | 201120446175.7 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN202330632U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 刘胜;汪学方;吕植成;袁娇娇;王宇哲 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 接触 金属 迁移 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种非接触式金属互连线电迁移测量装置，包括
四探针，用于检测局部金属互联线的电阻；
平行光光源，用于照射晶圆上的所有金属互联线；
光学显微镜，用于实时采集所有金属互联线的光反射图像；
计算机，用于依据光反射图像获取金属互联线的光强度，以及建立局部金属互联线的电阻与反射光强度的对应关系。
2. 根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括用于放置晶圆的具有石英盖板的真空腔。
3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括用于加热晶圆的加热装置。
4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，还包括改变平行光光源发出的平行光方向使得其照射晶圆的半透半反平面镜。
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