[实用新型]一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，具体的说是一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵。 

背景技术

IC(集成电路)装备制造业水平的高低是衡量一个国家和地区工业化程度的重要标志。而IC装备制造业作为增强国家综合实力和国际竞争力的先导性和战略性产业，已成为发达国家争夺高技术产业的战略制高点。我国已经把IC装备产业作为“十一五”规划重点发展产业，而在IC装备行业中，各种工艺设备例如化学气相沉积、等离子体化学气相沉积法(PECVD)、离子注入、蒸发、溅射、外延生长、刻蚀、封装、检测等的工艺都需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行，这就对干式真空泵的需求很高，正是来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展带动国外干泵市场的不断增长。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，从而大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵几乎全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。爪型干式真空泵是较早出现的一个泵种。世界上第一台爪型干泵于1985年在日本上市，并大量应用于日本当时发展迅速的半导体工业。 

现有干泵技术存在加工难度大、极限真空低、消耗功率大、体积大、不能直排大气、不能用于IC装备的不足。 

实用新型内容

为了克服现有干泵技术中加工难度大、极限真空低、消耗功率大、体积大、不能直排大气、不能用于IC装备的不足，本实用新型的目的在于提供一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵，适用于IC装备的新型的直排大气的干泵。 

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案。 

一种罗茨和爪式转子组合多级干式真空泵，包括电机、腔体、泵体尾部齿轮箱，其中腔体内设有主动轴及从动轴，该主动轴及从动轴前后两端均设有用于支撑的轴承及轴承支撑环；所述主动轴前端与电机连接，后端置于泵体尾部齿轮箱内、并设有主动齿轮，所述从动轴尾端置于泵体尾部齿轮箱内、并设有 与主动齿轮传动连接的从动齿轮，从动轴前端穿出腔体、并通过螺母固定；所述腔体从泵体尾端依次包括一级腔体、容置爪式转子腔体、排气腔体及轴承腔体，其中一级腔体、容置爪式转子腔体的端面上均设有使腔体间互相连通的进气口和排气口，排气腔体上设有与容置爪式转子腔体相连通的排气腔；所述主动轴及从动轴后端的轴承及轴承支撑环容置于一级腔体内，所述一级腔体内还设有固套在主动轴上的一级罗茨主动转子和与其相对应、固套于从动轴上的一级罗茨从动转子；容置爪式转子腔体内设有固套在主动轴上的爪式主动转子和与其相对应、固套在从动轴上的爪式从动转子；所述主动轴及从动轴前端的轴承及轴承支撑环容置于轴承腔体内。

所述电机与腔体之间设有电机油箱，该电机油箱内设有套设在主动轴和从动轴上用于固定轴承的电机侧轴承压盖、套固在所述主动轴上用于将主动轴固定于电机一侧的主动轴套、套固在该主动轴套上的主动甩油盘及套固在从动轴端部的电机侧从动甩油盘。 

所述容置爪式转子腔体包括二级腔体、三级腔体、四级腔体及五级腔体，各级腔体均设有进气口和排气口，并且上一级的排气口与下一级的进气口相对应，所述五级腔体的排气口与所述排气腔相对应；所述各级腔体内依次设有一正一反固套在主动轴与从动轴上的二级爪式主动转子与二级爪式从动转子、三级爪式主动转子与三级爪式从动转子、四级爪式主动转子与四级爪式从动转子、五级爪式主动转子与五级爪式从动转子。 

所述各级转子与泵腔的间隙为0.1～0.2mm。 

所述各级腔体通过螺栓联接，泵体尾部齿轮箱通过螺栓固接于一级腔体。 

所述各级腔体间采用O型密封圈密封。 

所述各级泵腔内的气体由高真空向低真空逐级压缩，压缩比为9∶8∶6∶3∶2。 

所述腔体外部设有水冷装置。 

所述电机包括外壳、电机定子、电机转子及输出轴，其中输出轴与所述主动轴同轴，电机转子套固在输出轴上，电机定子与泵体之间采用止口定位、并采用O型密封圈密封。 

所述主动轴、从动轴与各腔体轴孔的间隙为0.08～0.15mm。 

本实用新型有如下优点：