[实用新型]光刻胶涂胶单元的托盘有效
| 申请号： | 201120449807.5 | 申请日： | 2011-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN202368870U | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 孙斌;张宏旸;杨洁 | 申请（专利权）人： | 上海先进半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D19/22 | 分类号： | B65D19/22;B65D19/38 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 200233 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 涂胶 单元 托盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种光刻胶涂胶单元的托盘，其特征在于，包括：
托盘本体；
快速接头，螺纹连接于所述托盘本体上，引导稀释液清洗所述托盘的内壁；
定位支架，固定连接于所述托盘本体的外壁，所述定位支架上有一通孔，所述快速接头从所述通孔中穿出；
多个固定螺丝，螺纹连接于所述托盘本体上，将所述定位支架与所述托盘本体相固定。
2.根据权利要求1所述的光刻胶涂胶单元的托盘，其特征在于，所述定位支架整体呈丁字形状。
3.根据权利要求1或2所述的光刻胶涂胶单元的托盘，其特征在于，所述固定螺丝的数量为2～3个。
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