[实用新型]单晶炉热场中轴挡料罩结构有效
申请号: | 201120450510.0 | 申请日: | 2011-11-15 |
公开(公告)号: | CN202390584U | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 吴学军;周凯平 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人: | 马长增 |
地址: | 753000 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉热场 中轴 挡料罩 结构 | ||
技术领域:
单晶炉热场中轴挡料罩结构属于冶炼机电技术领域;特别涉及单晶炉热场阻挡漏液顺中轴泄漏的中轴挡料罩结构。
背景技术:
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶炉热场在硅单晶拉制过程中,泄漏出来的硅液沿着中轴流到设备上,损坏设备,现有单晶炉热场,不采用中轴挡料罩,容易造成安全系数低、设备损坏等现象。
发明的内容:
本实用新型单晶炉热场中轴挡料罩结构发明目的在于:设计制造一种与现有技术不同的,即阻挡漏液顺中轴泄漏又拆卸使用方便,便于更换的中轴挡料罩结构。
本实用新型单晶炉热场中轴挡料罩结构是这样实现的:含硅液,由中轴、中轴挡料罩和炉底护盘组成;中轴挡料罩旋装在中轴上;中轴的下端与设备连接,炉底护盘是石墨件,它安装在设备上。
硅单晶作业过程中,泄漏出来的硅液在中轴挡料罩的作用下,流到炉底护盘上,硅液不会沿着中轴流到设备上,损坏设备。
本实用新型单晶炉热场中轴挡料罩结构的有益效果是:利用热场中轴挡料罩结构可防止作业时硅液顺中轴漏出损坏设备,减少单晶炉损坏,降低生产成本,提高作业效率。
附图说明:
附图是单晶炉热场中轴挡料罩结构示意图。
图中:硅液1、中轴2、中轴挡料罩3、炉底护盘4。
具体实施方式:
本实用新型单晶炉热场中轴挡料罩结构含硅液1,由中轴2、中轴挡料罩3和炉底护盘4;中轴挡料罩3旋装在中轴2上;中轴2的下端与设备连接,炉底护盘4是石墨件,它安装在设备上。
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