[实用新型]适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴有效
申请号: | 201120451994.0 | 申请日: | 2011-11-16 |
公开(公告)号: | CN202332813U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 蒋李望 | 申请(专利权)人: | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/68 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 225008 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 适用于 薄片 元器件 提放吸嘴 | ||
1.适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,包括柔性吸嘴、缸体、活塞、柔性推针和负压源;所述柔性嘴座固定连接在缸体的下方;所述柔性吸嘴上开设有联通所述缸体内腔的通孔;所述柔性推针设置在所述通孔内,所述柔性推针的长度大于所述通孔的长度,所述柔性推针的直径小于所述通孔的直径,所述柔性推针的顶端固定连接在所述活塞的底部;所述活塞的直径小于所述缸体内腔的直径;所述缸体的顶面设有联通所述负压源的气孔;所述活塞的顶面上开设有至少一条使所述缸体内腔联通所述气孔的凹槽。
2.根据权利要求1所述的适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,所述活塞的下端面与所述缸体的底面为面接触。
3.根据权利要求1所述的适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,所述所述缸体顶面的气孔设在所述缸体顶面的中心位置,所述活塞上的凹槽在活塞顶面上呈十字形。
4.根据权利要求1所述的适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,所述柔性吸嘴通过设有中孔的吸嘴座与所述缸体相连,所述吸嘴座固定连接在缸体的下部,所述吸嘴固定连接在吸嘴座的下部,所述吸嘴座中孔的直径大于所述柔性推针的直径。
5.根据权利要求1-4中任一所述的适用于轻、薄片形元器件的提放吸嘴,其特征在于,所述柔性吸嘴的底面面积小于所述轻、薄片形元器件的顶面面积。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造