[实用新型]一种卧式真空电镀箱体

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空电镀生产线中的设备，具体是是一种卧式真空电镀箱体的结构。

背景技术

真空电镀技术是在真空中对靶材(金属、合金或化合物)进行蒸发(或溅射)，使其沉积在被涂覆的物体(称基片、基板或基体)上的方法。靶材在使用过程中需要周期性的更换。连续型镀膜生产线分为卧式和立式的。立式镀膜生产线的阴极系统和靶材安装在侧面的门上，换靶时，可将真空腔体从侧面打开，通过铰链将侧门(含阴极系统)打开90°空间进行作业。而卧式镀膜生产线的阴极和靶材需安装至上盖上。换靶时必须将上盖翻转180°后，进行作业。随着大尺寸镀膜玻璃基板在建筑、太阳能电池基板上的应用等，基板玻璃尺寸不断增大，导致镀膜设备不得不由立式转为卧式镀膜生产线。基板尺寸的增大，导致生产线的上盖(含阴极系统和靶材)也变得很沉重，而一条镀膜生产线上的靶位数又较多，因此每次换靶作业时，需翻转较多的上盖(含阴极系统和靶材)。

现国内的卧式连续镀膜生产线，如大型LOW-E玻璃镀膜生产线，镀膜箱体上盖的翻转，均采用车间顶部安装行车来起吊翻转实现，其对生产车间的净化度要求不高，上盖的翻转均采用车间顶部安装行车，将上盖吊起移至设备侧面，然后翻转180°。但随着镀膜工艺对车间净化度的提高，不允许净化车间内安装行车，因此镀膜箱体上盖的180°翻转就需要解决。

此外，现有技术也不利于车间的整体外观效果，另外加装行车还需要将厂房的高度增加。而随着镀膜用靶位数的增多，行车吊起翻转操作，需要一个个吊起，效率相对较低，也很耗时间。不能实现自动化翻转，还具有一定的危险性。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型旨在提供一种能实现大重量上盖的180°自动化翻转，可有效提高安全性和翻转效率的翻转结构。

为实现该技术目的，本实用新型的方案是：一种卧式真空电镀箱体，包括箱体、上盖和一上盖与箱体之间的连接件，所述上盖为含阴极系统的上盖，所述连接件为弯耳，其一端与箱体的侧边铰接，另一端铰接有一个下液压缸；该下液压缸的另一端接在箱体的底部，其通过伸缩可使弯耳90°翻转。

作为优选，所述上盖的一端铰接在弯耳上，弯耳的中部设有一凸起铰接一个上液压缸，该上液压缸的另一端铰接在上盖侧边，其通过伸缩可使上盖90°翻转。

本方案完全实现了大重量上盖的180°自动化翻转，有效提高安全性和翻转效率。在翻转过程中，可让上盖在任意一个位置上停止，这也是起吊翻转装置所不能实现的。另外，还降低了对车间高度的要求，在净化车间内安装也不会影响车间净化度及车间的整体效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的结构使用状态之一。

图3为本实用新型的结构使用状态之二。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。

如图1所示，本箱体的连接件的动作原理可分成四部分，一为箱体1，二为箱体上盖(含阴极系统)，三为下液压缸32，四为上液压缸31。在结构上，主要还包括n字型弯耳2，弯耳2的一端与箱体的侧边铰接，另一端铰接有一个下液压缸32；该下液压缸32的另一端接在箱体的底部，其通过伸缩可使弯耳90°翻转；所述上盖的一端铰接在弯耳2上，弯耳2的中部设有一凸起铰接一个上液压缸31，该上液压缸31的另一端铰接在上盖侧边，其通过伸缩可使上盖90°翻转。

工作时，下液压缸32收缩，使得上盖转到图2所示位置，使其翻转约90°，此时上液压缸31开始收缩工作，使得上盖翻转85°，如图3所示位置。当换靶作业完成后，上液压缸31伸出，将上盖(含阴极系统)翻转回至图2所示，然后下液压缸开始工作，将上盖推回至图1所示，将箱体关闭。

完全实现了大重量上盖的180°自动化翻转，有效提高安全性和翻转效率。在翻转过程中，可让上盖在任意一个位置上停止，这也是起吊翻转装置所不能实现的。另外，本实用新型降低了对车间高度的要求，在净化车间内安装也不会影响车间净化度及车间的整体外观效果。