[实用新型]一种辊道式太阳电池硅片烧结炉

权利要求书

1.一种辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，在所述烧结炉中，传输硅片的载体是可以沿一个方向传输的辊道，该辊道中包括多个可旋转的辊体。

2.根据权利要求1所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，辊道的与硅片接触部位的材质是非金属的。

3.根据权利要求2所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，所使用的辊道的与硅片接触部位的材质不同于用来支撑和传动辊道的部位的材质。

4.根据权利要求2或3中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，辊道的与硅片接触部位的材质是非金属材质，而用来支撑和传动辊道的部分的材质是金属材质。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，组成辊道的辊体中的至少一部分为表面光滑的平辊体或表面凸凹不平的辊体。

6.根据权利要求5所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，所述表面凸凹不平的辊体包括：表面带有凹槽的螺纹状辊体、表面带有若干点状或线状凸起的辊体、表面带有若干圆环状物的不等径辊体。

7.根据权利要求1-3或6中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，组成辊道的辊体中的至少一部分为实心辊体或空心辊体。

8.根据权利要求1-3或6中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，辊道的与硅片接触部位的材质是陶瓷、石英陶瓷或石英玻璃。

9.根据权利要求1-3或6中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉， 其特征在于，辊道的与硅片接触部位的材质是SiO₂或Si₃N₄或SiC。

10.根据权利要求1-3或6中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，辊道的传输速度在15000mm/min以下任意可调，或者传输速度在4000mm/min～12000mm/min之间。

11.根据权利要求1-3或6中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，在烧结炉的烧结区和下料区之间设置有强制风冷区，硅片完成烧结后直接进入强制风冷区快速冷却。

12.根据权利要求11所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，所述强制风冷区包括：离开烧结区而继续向前传送的强制风冷区辊道，和设置在强制风冷区辊道上方和/或下方的吹风装置。

13.根据权利要求12所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，设置在强制风冷区辊道上方和下方的吹风装置彼此相对设置，且冷风从上下二个方向同时吹向硅片。

14.根据权利要求12或13中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，吹风装置所吹出的冷风是洁净空气、氮气或者洁净空气与氮气的混合物，或者是经过冷却处理的上述气体。

15.根据权利要求12或13中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，所述吹风装置的吹风压力在6000Pa以下任意可调，与其匹配的风量满足硅片冷却速率≥80℃/S。

16.根据权利要求1-3或6中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，所述烧结炉的炉体由上下可以分离的二部分组成，上半部分炉体可以在机械力的作用下沿垂直方向向上自由升起。

17.根据权利要求1-3或6中任一项所述的辊道式太阳电池硅片烧结炉，其特征在于，所述烧结炉使用的加热方式是红外辐射加热、微波加热或电热 丝加热中的单独一种热源或上述三种热源的任意组合。