[实用新型]法拉第杯有效
| 申请号： | 201120456944.1 | 申请日： | 2011-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN202363408U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 庄锦贤;张元河;蔡济全;陈平阳;施介文;彭圣修 | 申请（专利权）人： | 力晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 法拉第 | ||
【权利要求书】：
1.一种法拉第杯，其特征在于，包括：
框体，具有一容置空间；以及
石墨，可拆换地设置于该容置空间中。
2.如权利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，该框体的材料包括金属。
3.如权利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，该石墨包括：
第一组件，可拆换地设置于该容置空间中，且在该第一组件中具有凹槽；以及
第二组件，可拆换地设置于该凹槽中。
4.如权利要求3所述的法拉第杯，其特征在于，该凹槽的位置对应于一带电粒子束于该石墨上的撞击位置。
5.如权利要求4所述的法拉第杯，其特征在于，该带电粒子束包括离子束。
6.如权利要求3所述的法拉第杯，其特征在于，该第一组件的该凹槽底部具有通孔。
7.如权利要求3所述的法拉第杯，其特征在于，该法拉第杯还包括第一结合装置，用以结合该第一组件与该框体。
8.如权利要求7所述的法拉第杯，其特征在于，该第一结合装置包括螺丝组。
9.如权利要求3所述的法拉第杯，其特征在于，该法拉第杯还包括第二结合装置，用以结合该第一组件与该第二组件。
10.如权利要求9所述的法拉第杯，其特征在于，该第二结合装置包括螺丝组。
11.如权利要求1所述的法拉第杯，其特征在于，该法拉第杯应用于离子注入机台。
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