[实用新型]单晶炉坩埚防尘装置

说明书

技术领域：

单晶炉坩埚防尘装置属于机电技术领域，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘。

背景技术：

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料；单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制前，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；众所周知，目前单晶炉坩埚装置，采用防尘装置密固性能差，容易造成设备损坏，晶棒精度低等现象。

发明的内容：

本实用新型单晶炉坩埚防尘装置发明目的在于：解决单晶炉晶体拉制过程中产生杂质易掉入磁流体、造成设备易损坏问题，设计制造一种与现有技术不同坩埚防尘装置。

本实用新型单晶炉坩埚防尘装置是这样实现的：含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上。

在硅单晶拉制过程中，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，导致磁流体卡死、不旋转，影响拉晶质量。

本实用新型单晶炉坩埚防尘装置的有益效果是：在硅单晶拉制过程中，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。

附图说明：

附图为本实用新型单晶炉坩埚防尘装置示意图。

图中：坩埚轴1、压紧套2、杂质3、磁流体4、防尘法兰5。

具体实施方式：

本实用新型单晶炉坩埚防尘装置，含杂质3和磁流体4，由坩埚轴1、压紧套2和防尘法兰5组成；坩埚轴1为水冷焊接件和磁流体4同轴心套装，在磁流体4上平面和坩埚轴1外圆轴面同轴心安装防尘法兰5；压紧套2套装在防尘法兰5外侧并通过螺钉固定在坩埚轴1上。