[实用新型]一种用于FPC的等离子清洗机有效
| 申请号： | 201120459850.X | 申请日： | 2011-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN202316425U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 叶夕枫 | 申请（专利权）人： | 博罗县精汇电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 44248 | 代理人： | 孙伟;于标 |
| 地址： | 516129 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 fpc 等离子 清洗 | ||
1.一种用于FPC的等离子清洗机，其特征在于：所述等离子清洗机包括箱体、气压检测机构、射频电源、第一电极、第二电极和过滤网； 所述箱体内部为一封闭腔体，该箱体具有能打开/关闭的箱门、入气孔和出气孔； 所述气压检测机构包括设置于箱体内部的压力传感器和设置于箱体外部的压力显示装置，所述压力传感器与所述压力显示装置电性连接； 所述第一电极和所述第二电极设置于所述箱体的内部，所述射频电源分别与所述第一电极和所述第二电极电性连接； 所述过滤网容置于所述箱体的内部。
2.根据权利要求1所述的用于FPC的等离子清洗机，其特征在于：所述等离子清洗机包括输气机构，所述输气机构与所述入气孔连接。
3.根据权利要求2所述的用于FPC的等离子清洗机，其特征在于：所述等离子清洗机包括压力控制阀，该压力控制阀串联于所述输气机构。
4.根据权利要求1所述的用于FPC的等离子清洗机，其特征在于：所述等离子清洗机包括抽气机构，所述抽气机构与所述出气孔连接。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的用于FPC的等离子清洗机，其特征在于：所述箱体的内部设置多层铝板，所述铝板承载所述过滤网。
6.根据权利要求5所述的用于FPC的等离子清洗机，其特征在于：所述过滤网设置为多层。
7.根据权利要求6所述的用于FPC的等离子清洗机，其特征在于：所述过滤网具有均匀分布的网格。
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