[实用新型]靶盘存储装置有效
申请号: | 201120465075.9 | 申请日: | 2011-11-21 |
公开(公告)号: | CN202321251U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 许鹖 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | B65D85/58 | 分类号: | B65D85/58 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 盘存 装置 | ||
1.一种靶盘存储装置,其特征在于,包括:
底座;
腔室,固定在所述底座上,用于存储一靶盘;
气缸,固定于所述腔室的内侧,垂直于腔室表面;
可折叠支架,活动连接至所述气缸,且所述可折叠支架一端用于固定所述靶盘;
其中,所述可折叠支架能相对所述腔室在平行于所述腔室表面的方向上移动,所述气缸能带动所述可折叠支架沿垂直于所述腔室表面的方向移动。
2.根据权利要求1所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述可折叠支架包括可折叠的第一杆和第二杆,所述第一杆和第二杆活动连接至所述气缸,所述第一杆和第二杆平行设置,且所述第一杆和第二杆的一端通过一第三杆相连,所述第一杆和第二杆的另一端通过一第四杆相连,所述第三杆用于固定所述靶盘。
3.根据权利要求2所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述气缸为两个,分别与所述第一杆和第二杆活动连接。
4.根据权利要求2所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述气缸顶部开设有滑槽,所述第一杆和第二杆分别穿设在两个气缸的滑槽中并可在滑槽内滑动。
5.根据权利要求2所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述第三杆上设有螺纹孔。
6.根据权利要求1所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述气缸能带动所述可折叠支架向腔室内移动并使可折叠支架收纳于腔室中,也能带动所述可折叠支架向腔室外移动并使可折叠支架完全处于腔室外。
7.根据权利要求1所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述可折叠支架由钢材料制成。
8.根据权利要求1所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述底座上设有车轮。
9.根据权利要求8所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述车轮装有制动装置。
10.根据权利要求1所述的靶盘存储装置,其特征在于:所述腔室呈圆形。
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