[实用新型]一种用于板式PECVD设备的石墨框

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种用于平板式PECVD设备的石墨框，用于硅片的PECVD镀膜工艺。

背景技术

太阳能是没有污染、使用方便的可再生能源，有效地利用太阳能己经成为人类的共识。在开发和利用太阳能的过程中，人们研制了太阳能电池，利用光伏效应直接把太阳能转化为电能。在太阳能电池中，晶体硅太阳能电池占市场主要分额。在制备晶体硅太阳能电池过程中，制备减反射膜是一个必不可少的工序。近几年来，氮化硅薄膜应用于晶体硅太阳能电池的减反射膜，它不仅具有减反射膜的作用，还能起到钝化作用，其成膜工艺、钝化及减反射性能受到人们的重视。

目前，制备氮化硅薄膜主要采用等离子体增强化学气相沉淀（PECVD）的方法，其使用的设备主要有倒挂式PECVD设备和平板式PECVD设备。平板式PECVD设备中承载硅片工装主要包括石墨框和架于石墨框上的石墨碳板；所述石墨框一般呈长方形，其2条长边上设有多个支撑片，用来支撑石墨碳板。石墨碳板上设有多个承载硅片的方格孔。硅片需要镀膜时，将硅片水平放置在石墨碳板的方格孔内，每一个方格孔内放置一片硅片。

然而，在实际应用过程中发现，石墨碳板使用一段时间就会发生前后翘曲的现象，这是因为在镀膜工艺中，石墨碳板需要经过长时间的加热，在加热过程中石墨碳板会发生一定的变形，而由于石墨框的2条长边上设有支撑片，而在其2条短边上未设置支撑结构，因此石墨碳板的前后两端会发生翘曲，如果翘曲超过一定范围（弯曲度为9mm），碳板就需要报废，从而增加了成本；此外，翘曲的石墨碳板还有可能因变形而刮到电极板和加热灯管，损坏PECVD设备。

发明内容

本实用新型目的是提供一种用于板式PECVD设备的石墨框。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于板式PECVD设备的石墨框，其2条长边上设有支撑片，所述石墨框的2条短边上均设有支撑件。

上述技术方案中，所述支撑件为支撑条，其长度与石墨框的短边长度相同，其承载石墨碳板的宽度为0.8~1.2 cm。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是：

1、由于本实用新型在石墨框的2条短边上设置了支撑件，因而可以利用支撑件托住石墨碳板，从而避免因石墨碳板变形而刮到电极板和加热灯管，防止其损坏镀膜设备；同时，支撑件也可以防止石墨碳板过分翘曲，降低了石墨碳板的报废几率，增长了碳板的使用周期和时间，从而降低了成本。

2、本实用新型的结构简单，使用维护方便，且易于实现，适合推广使用。

附图说明

附图1为本实用新型实施例一的结构示意图；

附图2为图1的A部放大图。

其中：1、支撑片；2、支撑条。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述：

实施例一

参见图1~2所示，一种用于板式PECVD设备的石墨框，其2条长边上设有支撑片1，所述石墨框的2条短边上均设有支撑条2，所述支撑条可以是硬度较高的钢片，钢片的长度与石墨框的长度一致，宽度是2 cm，承载宽度为1 cm，钢片与石墨框用螺丝来连接固定。