[实用新型]氢化物气相外延装置

权利要求书

1.一种氢化物气相外延装置，包括一气相外延反应腔，其特征在于反应腔上部设有进气装置，进气装置下方设有一石英舟，反应腔下部设有载片盘，载片盘下方和上方设有加热装置，载片盘下方的加热装置与反应区由载片盘支撑隔开，反应腔底部设有排气口。

2.根据权利要求1所述的氢化物气相外延装置，其中石英舟为带开口的石英管或者陶瓷管。

3.根据权利要求1所述的氢化物气相外延装置，其中石英舟为石英管或陶瓷管的直管或环形管，多根管在一个平面内间隔排列。

4.根据权利要求1所述的氢化物气相外延装置，其中载片盘上方的加热装置的加热元件在一个平面内间隔排列。

5.根据权利要求1所述的氢化物气相外延装置，其中载片盘上方的加热装置的加热元件外表面设有避免加热元件与气体反应的隔离材料。

6.根据权利要求1所述的氢化物气相外延装置，其中载片盘上方的加热装置的位置为载片盘与石英舟之间。