[实用新型]一种石墨加热器

说明书

技术领域

本实用新型涉及石墨加热器技术领域，具体地说是一种生产化合物半导体的石墨加热器。

背景技术

随着科学技术的不断发展，化合物半导体被广发应用，然而化合物半导体的生产是一个吸热过程，所以需要外部提供热量，因为石墨具有电阻率高的特性，所以石墨对电流的阻碍作用也大，当给石墨通电时，可以释放大量的热量，再者因为石墨具有高熔点和高沸点的特性和在惰性气体保护下不会溶化、蒸发和反应的特点，因此石墨常常被用于生产化合物半导体的单晶炉加热器具。目前，国内单晶炉使用的石墨加热器通常为直筒式石墨加热器，直筒式石墨加热器具有横向、纵向温度梯度变化巨大，加热器内热对流剧烈，炉场场温不稳定的特点。再者，就是用电量高，容易产生多晶现象。

发明内容

本实用新型的目的在于克服背景技术中所述的不足之处，提供一种具有更加均匀的热场，使温度更加稳定用于化合物半导体生产的石墨加热器。

本实用新型为了实现所述的发明目的，采用如下技术方案：

一种石墨加热器，由筒状加热器本体构成，其特征在于：所述的加热器本体顶部设有一盘状石墨加热器，底部设有一与电极相连的引脚，整个加热器本体呈高脚盘状。

所述的盘状石墨加热器呈花瓣状。

有益效果

本实用新型将现有的直筒式石墨加热器的顶部设一盘状石墨加热器，底部设一引脚，使整个石墨加热器呈高脚盘状，使得加热器通电发热的面积增大，使得加热器内温场更加稳定，物料的受热更加均匀，解决了横向、纵向温度梯度变化巨大，加热器内热对流剧烈，炉场场温不稳定的问题。

附图说明

图1为石墨加热器的俯视图图；

图2为横向剖面结构示意图；

图3为石墨加热器的仰视图；

图4为石墨加热器主视图；

1为加热器本体；2为盘状加热器，3为引脚。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

如图1和图2所示，本实用新型由筒状加热器本体1构成，加热器本体1顶部设有一盘状石墨加热器2，底部设有一与电极相连的引脚3，整个加热器本体1呈高脚盘状。

优选的结构为：盘状石墨加热器2呈花瓣状。