[实用新型]一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备

权利要求书

1.一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：它包括探头支架及设置于所述探头支架的光强度检测装置、电导率检测装置、温度检测装置、氯离子检测装置，还包括数据处理装置，所述数据处理装置分别与所述光强度检测装置、所述电导率检测装置、所述温度检测装置、所述氯离子检测装置电连接。

2.根据权利要求1所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述数据处理装置包括单片机与显示器，所述单片机分别与所述光强度检测装置、所述电导率检测装置、所述氯离子检测装置及所述显示器电连接。

3.根据权利要求2所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述光强度检测装置包括光源、U型导光管、光线强度传感器、光线信号变送器，所述U型导光管分别与光源、光线强度传感器电连接，所述光线强度传感器与所述光线信号变送器电连接，所述光线信号变送器与所述单片机电连接。

4.根据权利要求3所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述U型导光管设有开口。

5.根据权利要求4所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述U型导光管通过缩进螺丝与探头支架连接。

6.根据权利要求2所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述电导率检测装置包括电导率传感器、电导率信号变送器，所述电导率传感器与所述电导率信号变送器电连接，所述电导率信号变送器与所述单片机电连接。

7.根据权利要求6所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述电导率传感器包括电导率测试探头和第一中空防腐导管，电导率测试探头与第一中空防腐导管连接，中空防腐导管的上端部与探头支架连接。

8.根据权利要求2所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述氯离子检测装置包括氯离子传感器，氯离子信号变送器，所述氯离子传感器与所述氯离子信号变送器电连接，所述氯离子信号变送器与所述单片机电连接。

9.根据权利要求8所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述氯离子传感器包括氯离子测试电极和第二中空防腐导管，氯离子测试电极与第二中空防腐导管连接，中空防腐导管的上端部与探头支架连接。

10.根据权利要求2所述的一种在线检测硫酸盐镀铜溶液的镀液成分的设备，其特征在于：所述温度检测装置包括温度传感器和温度传感器变送器，所述温度传感器与所述温度传感器变送器电连接，所述温度传感器变送器与所述单片机电连接。