[实用新型]一种流量控制器与输出信号端的连接方式

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是信号线接头的连接方式。

背景技术

在半导体工业的制程设备里，几乎所有的设备都需要各程度不等的流体来维持机器的操作与制程的进行；所以在流体的控制方面，不只是某些制程的重要参数之一，更是跟机器设备是否能正常运作有着密切的关系。而控制流体最直接且最方便的方法就是测量它的流量。然而，各种半导体设备所需要的流体均不完全相同，但彼此又不兼容；所以在半导体工业里用来测量并控制流体流量的仪器的使用量非常的大，流量控制器就是其中一种。

流量控制器(Flow Controller)是一种流量计与控制阀组的精密机电组合。它与一般流量计最大的差别在于它是利用热感温差、非接触的方式测量流体的质量流速，不同于一般测量体积流速的方法，所以能够避免环境压力与流体体积的影响，非常适合用在动态的流体流量控制上。

现有技术中的一种用以控制研磨液流动的流量控制器，该流量控制器的接头通过一个中间连接接头与输出信号端的接头连接，所述流量控制器与输出信号端上的接头线分别连接在中间连接接头上，然后达成彼此间信号的传输，此种流量控制器与输出信号端的连接方式，在机台维修时，如果频繁牵动流量控制器或输出信号端的接头，容易出现接头线松动的现象，甚至造成接头处断落，进而出现信号接触不良，甚至信号传输中断的现象，而半导体应用中的研磨液的流动是由0-10V电压控制的，若是信号线接触不良乃至中断，会对需要高精度电压控制的研磨液流量造成很大的不稳定性波动。

因此，针对上述技术问题，有必要提供一种新的流量控制器与输出信号端的连接方式，以克服上述缺陷。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种流量控制器与输出信号端的连接方式，该连接方式没有借助任何中间连接接头来达成流量控制器与输出信号端的连接线头的连接，而是直接将流量控制器与输出信号端的连接线头焊接在一起，保证了流量控制器与输出信号端之间传输信号的稳定性。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种流量控制器与输出信号端的连接方式，所述流量控制器包括若干第一信号线，所述输出信号端包括若干与第一信号线连接的第二信号线，所述第一信号线与第二信号线之间没有任何中间连接接头，所述第一信号线与第二信号线相互焊接在一起。

优选的，在上述流量控制器与输出信号端的连接方式中，所述第一信号线与第二信号线之间焊接点的外部设有保护结构。

优选的，在上述流量控制器与输出信号端的连接方式中，所述保护结构为绕在焊接点周围的胶带。

优选的，在上述流量控制器与输出信号端的连接方式中，所述保护结构包括公结构及母结构，所述公结构及母结构均为中空结构且通过卡扣结构连接固定。

优选的，在上述流量控制器与输出信号端的连接方式中，所述公结构一端设有穿越第一信号线的第一通孔，所述公结构另一端设有卡扣部，所述母结构一端设有穿越第二信号线的第二通孔，所述母结构另一端设有与所述公结构的卡扣部卡持的卡扣槽，所述焊接点封闭在公结构及母结构中。

从上述技术方案可以看出，本实用新型实施例没有借助任何中间连接接头来达成第一信号线与第二信号线的连接，而是直接将第一信号线与第二信号线焊接在一起，如此设置，避免出现频繁牵动第一信号线与第二信号线而造成线头松动甚至断落的现象，保证了第一信号线与第二信号线之间传输信号的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的有关本实用新型的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中流量控制器与输出信号端的连接方式的示意图；

图2为本实用新型流量控制器与输出信号端的连接方式的示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。