[实用新型]一种炉门脱落的防砸装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及制造加工领域，尤其涉及一种炉门脱落的防砸装置。

背景技术

centrotherm所生产的管式PECVD设备炉门之间没有任何挡隔物，上下一共四个炉管。开炉门时炉内碎片很容易掉下来，落在下面的舟上，污染了舟。等舟到机械手位置时，机械手下来取片时压碎落在舟上的片子很可能划碎舟内的片子，造成舟内碎片。

如附图1所示，是现有的炉门脱落的防砸装置正视图。在centrotherm所生产的管式PECVD设备生产过程中，炉门101打开时，炉门101在左右方向拉杆104和前后方向拉杆102(左右方向拉杆104和前后方向拉杆102均与气缸相连)的拉力作用下向左右移动和前后移动。由于炉门101长期不停地开关震动，炉门101上的螺丝1011、1012和1013容易松动，导致炉门101脱落，砸坏下面正在进出炉的舟和桨，舟和桨的价格都不菲，经济损失很大。

为了防止炉门的脱落砸坏舟和桨，现有技术提供的一种方法是在在炉门口设置一根横条103，如附图1所示。一旦炉门101脱落，横条103将炉门101托住，防止炉门101直接砸在下面正在进出炉的舟和桨。

然而，本案的发明人发现，上述现有技术提供的方法并不能有效防止炉门砸坏舟和桨。这是因为，横条103沿正视方向(前后方向)延伸的长度有限。当炉门101打开沿正视方向移动的幅度超过了横条103沿正视方向(前后方向)延伸的长度而脱落时，横条103无法托住炉门101。另一方面，炉门101脱落时的加速度产生的向下冲击力较大，横条103的强度可能不足以抵挡这样的冲击力。

发明内容

本实用新型实施例提供一种炉门脱落的防砸装置，以有效防止炉门的脱落砸坏舟和桨等设备。

本实用新型实施例提供一种炉门脱落的防砸装置，其特征在于，所述装置包括横条(103)、第一竖条(201’)和第二竖条(202’)；

所述横条(103)固定于一固定物上，所述第一竖条(201’)一端焊接在所述横条(103)上，另一端焊接在炉壁上，所述第二竖条(202’)一端焊接在所述横条上(103)，另一端焊接在炉壁上；

所述第一竖条(201’)、第二竖条(202’)在水平方向上均与所述横条(103)垂直，所述第一竖条(201’)和第二竖条(202’)之间存在间距，且所述间距小于所述炉门的直径。

可选地，所述所述第一竖条(201’)和第二竖条(202’)的外面包有一层软体层。

可选地，所述第一竖条(201’)和第二竖条(202’)为柱体，所述柱体的表面为弧面。

可选地，所述第一竖条(201’)和第二竖条(202’)为圆柱体。

从上述本实用新型实施例可知，由于横条固定于一固定物上，第一竖条一端焊接在所述横条上，另一端焊接在炉壁上，第二竖条一端焊接在所述横条上，另一端焊接在炉壁上，并且第一竖条、第二竖条在水平方向上均与横条垂直。因此，与现有技术相比，本实用新型实施例提供的炉门脱落的防砸装置在炉门脱落时，能够托住炉门，承受炉门产生的较大冲击力，有效防止了进出炉的舟和桨等设备被砸坏，为企业的安全生产节约了大量资金。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对现有技术或实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，还可以如这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术提供的炉门脱落的防砸装置正视图；

图2a是本实用新型实施例提供的炉门脱落的防砸装置示意图；

图2b是本实用新型另一实施例提供的炉门脱落的防砸装置示意图；

图3是本实用新型实施例提供的炉门脱落的防砸装置工装正视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅附图2，是本实用新型实施例提供的炉门脱落的防砸装置结构示意图。为了便于说明，仅仅示出了与本实用新型实施例相关的部分。附图2示例的炉门脱落的防砸装置包括横条103、第一竖条201’和第二竖条202’。第一竖条201’和第二竖条202’可以采用强度较大的金属材料制作而成，其中：