[实用新型]用于单晶炉中的水冷夹套备用水装置有效
申请号: | 201120483372.6 | 申请日: | 2011-11-29 |
公开(公告)号: | CN202359228U | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 白喜军;李定武;马炳仁;白忠学 | 申请(专利权)人: | 宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;银川隆基硅材料有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 755100 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 单晶炉 中的 水冷 备用 装置 | ||
1.一种用于单晶炉中的水冷夹套备用水装置,炉台(1)中的晶体(9)周围设置有水冷夹套(2),该水冷夹套(2)与炉台正常供水管路(7)连通,其特征在于:炉台(1)中的水冷夹套(2)同时还与应急供水管路(8)连通,该应急供水管路(8)上设置有电磁阀(6),电磁阀(6)与正常供水管路(7)上的水泵使用同一个供电电路;应急供水管路(8)与备用水箱(3)连通。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉中的水冷夹套备用水装置,其特征在于:所述的备用水箱(3)通过气体管道与压缩气罐(4)连通。
3.根据权利要求1所述的用于单晶炉中的水冷夹套备用水装置,其特征在于:所述的备用水箱(3)与压缩气罐(4)之间气体管道上设置有压力控制表(5)。
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