[实用新型]装有多晶硅插片隔热层的多晶硅还原炉节能装置

权利要求书

1.一种装有多晶硅插片隔热层多晶硅还原炉节能装置，包括含夹套冷却水装置的双层炉体（1）、不锈钢管（2）、开有凹槽的不锈钢板（3）、还原炉底盘（4）、环形进气管（5）、底盘进气口（6）、多晶硅插片（7）、螺栓；其特征是不锈钢管和多晶硅插片组成的隔热层与炉体的内壁的间距为25~250mm；隔热层与炉体内壁连接，炉体通过法兰固定在底座上；底座上装有底盘进气口，氢气或者四氯氢硅气体由底盘进气口进入环形进气管，环形进气管上开有方口，氢气或者四氯氢硅气体由环形进气管进入炉体与隔热层之间的空隙，并充满空隙；炉体装有夹套冷却水装置。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉节能装置，其特征是所述的不锈钢管和多晶硅插片组成的隔热层为柱体，每根不锈钢管构成柱体的一条棱边，且相邻两根不锈钢管间的距离相等，柱体的底面为正多边形，多边形的顶点位于底盘的一个圆周上，每根不锈钢管位于多边形的一个顶点处，底边正多边形的边长为100mm~1000mm，底边正多边形的外接圆直径与还原炉内径相匹配可以加工为1.5m~3m，比还原炉内径小50~500mm。

3.如权利要求1所述的多晶硅还原炉节能装置，其特征是不锈钢管为方管或者圆管，方管的边长或者圆管的直径为10mm~40mm，柱体框架的高度与还原炉体的高度相匹配加工为1.5m~3m；开有凹槽的不锈钢板与不锈钢钢管焊接在一起，不锈钢板的高度与不锈钢管相同为1.5m~3m，宽为30~60mm，厚度为1~10mm，不锈钢板上凹槽的间隔为100~300mm，深度为50-200mm，凹槽的宽度为0.25~1mm，凹槽与竖直方向的夹角为1°~20°，将多晶硅插片安放在相邻两根不锈钢管对应的凹槽内，每个凹槽内插放一块多晶硅插片，多晶硅插片的高度为100~300mm，长度为100~300mm，厚度为0.2~1mm，多晶硅插片的安装必须满足将柱体框架的不锈钢管及金属挡板完全遮挡。