[实用新型]酸洗机储酸箱保压装置有效
| 申请号： | 201120489367.6 | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN202454540U | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 蒋敏 | 申请（专利权）人： | 常州星海电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213022 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 酸洗 机储酸箱保压 装置 | ||
【权利要求书】：
1.酸洗机储酸箱保压装置，包括酸洗机储酸箱保压装置储酸箱，其特征在于：所述的酸洗机储酸箱保压装置储酸箱分别连通有放气管、出酸管和储酸装置，所述的放气管的顶端高于储酸装置的顶端，所述的储酸装置的底面要高于酸洗机储酸箱保压装置储酸箱的最高点。
2.根据权利要求1所述的酸洗机储酸箱保压装置，其特征在于：所述的放气管的输出端设置有第一阀门。
3.根据权利要求1所述的酸洗机储酸箱保压装置，其特征在于：所述的出酸管的输出端设置有第二阀门。
4.根据权利要求1所述的酸洗机储酸箱保压装置，其特征在于：所述的酸洗机储酸箱保压装置储酸箱与储酸装置之间设置有第三阀门。
5.根据权利要求1或2所述的酸洗机储酸箱保压装置，其特征在于：所述的放气管为倒置的U型。
6.根据权利要求1所述的酸洗机储酸箱保压装置，其特征在于：所述的储酸装置包括大储酸箱和加酸孔，所述的加酸孔设置在大储酸箱的上端。
7.根据权利要求6所述的酸洗机储酸箱保压装置，其特征在于：所述的大储酸箱的容积是酸洗机储酸箱保压装置储酸箱的3～5倍。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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