[实用新型]石英坩埚侧壁送料装置有效
| 申请号： | 201120490277.9 | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN202400946U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 宋毅;王琦;李文辉 | 申请（专利权）人： | 西安金诺光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 李子安 |
| 地址： | 710075 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 侧壁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英坩埚侧壁送料装置，其特征在于：包括无杆气缸(1)和安装在无杆气缸(1)的活塞输出端上且沿着无杆气缸(1)上下运动的喷砂枪，所述无杆气缸(1)的上端设置有气缸进气管(2)，所述无杆气缸(1)的下端安装有与石英坩埚底部定位孔配合使用的定位端头(3)。
2.按照权利要求1所述的石英坩埚侧壁送料装置，其特征在于：所述喷砂枪包括喷砂枪枪体(6)，所述喷砂枪枪体(6)为中空腔体，所述喷砂枪枪体(6)的上表面上安装有石英砂输送管(4)，所述喷砂枪枪体(6)的前端安装有喷砂枪喷头(7)，所述喷砂枪枪体(6)的后端安装有喷砂枪进气管(5)，所述石英砂输送管(4)、喷砂枪进气管(5)和喷砂枪喷头(7)均与喷砂枪枪体(6)相连通。
3.按照权利要求2所述的石英坩埚侧壁送料装置，其特征在于：所述石英砂输送管(4)与气缸进气管(2)相平行，所述石英砂输送管(4)与喷砂枪喷头(7)相垂直。
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