[实用新型]一种可伸缩的电池片吸取装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及太阳能电池生产的PECVD工艺，尤其涉及PECVD工艺中用的吸片装置。

背景技术：

PECVD是太阳能电池片等离子体化学沉积镀膜工艺的简称，在太阳能电池的生产过程中，对硅片镀膜是提高太阳能电池吸收效率的关键技术，根据硅片的光电转换发电原理，光线照射到硅片上会产生反射，硅片的光学损失会使太阳能电池的输出低于理想值，硅片镀膜技术是提高太阳能电池吸收效率的成熟技术，已在太阳能电池工业化生产中得到广泛应用，通过PECVD能在硅片表面形成一层减反射膜。

太阳能电池镀膜设备的化学沉积镀膜原理是：在密闭的真空沉积源中装有多根真空石英管，在每根真空石英管中放有一根铜管，向沉积源中通入硅烷和氨气，再通过电控部分使真空石英管中的铜管发射出微波，在高温条件下，沉积源中的硅烷、氨气和硅片进行反应生成氮化硅，氮化硅会慢慢沉积在电池片表面上，从而实现硅片镀膜。PECVD完成后，由于扩散炉内的温度较高，且炉内深度较大，电池片温度也较高，如果其中出现破裂电池片，或者需要将某片电池片取出时必须使用真空吸片工具，现有的真空吸片工具是真空吸片器，真空吸片器由真空吸嘴、真空软管、真空开关组成，真空软管一端与真空吸嘴密封连接，另一端与真空开关密封连接，吸取电池片时打开真空开关，由于真空负压，真空吸嘴能够将电池片吸住，需要放下时关闭真空开关，此时负压断开，电池片落下。由于真空吸管由弹性塑料软管做成，无法支撑吸取距离较远的电池片。这种真空吸片装置使用起来很不方便，不仅不易吸取远处的电池片，而且真空软管暴露在扩散炉内，在较高温度环境下使用，其使用寿命不长。因此有必要设计一种能克服现有技术不足的真空吸片装置。

实用新型内容：

为了在PECVD中能对不同位置的电池片进行吸取操作，本实用新型提供了一种可伸缩的电池片吸取装置，用它来进行吸取电池片既便捷又可靠。

本实用新型所采用的技术方案是：

一种可伸缩的电池片吸取装置，包括吸嘴、伸缩杆、真空软管和真空开关，其中，伸缩杆包括手持套杆、过渡套杆和内芯套管，在内芯套管的右端设有连接吸嘴的连接孔，在内芯套管的左端设有限位轴阶，吸嘴固定安装在内芯套管的连接孔中，真空软管一端密封地套装在吸嘴的进气管上，另一端经真空开关与真空气源相连，在过渡套杆的右端设有过渡内限位轴肩，所述过渡内轴肩的内径与内芯套管的外径相对应，在过渡套杆的左端设有过渡外限位轴肩，所述过渡外限位轴肩的外径与手持套杆的内径相对应，在手持套杆的右端设有外套内限位轴肩，所述外套内限位轴肩的内径与过渡套杆的外径相对应，过渡套杆套装在手持套杆内，内芯套管套装在过渡套杆内。

进一步，在连接孔内侧设有螺纹，在吸嘴待安装于内芯套管一端固定安装有一螺母，该螺母的螺纹处于外侧，其将吸嘴与内芯套管形成螺旋式固定连接。

进一步，在内芯套管的左端内孔中设有固定真空软管的弹性固定圈。

由于本实用新型采用了伸缩杆，并将真空软管套装在伸缩管内，真空吸嘴固定安装在内芯套管的前端，真空软管套在手持套杆、过渡套杆和内芯套管的内孔中，防止真空软管直接暴露在温度较高的扩散炉内，影响其使用寿命。伸缩杆结构使得真空吸嘴能进能退，操作者只要调节伸缩杆的长度，操作者本人不需走动就能轻便地对电池片进行吸取，既轻松又方便。

附图说明：

图1为本实用新型的伸展状的结构示意图；

图2为本实用新型的纵向剖视结构示意图；

图3为伸缩杆的结构示意图；

图中：1-吸嘴；2-伸缩杆；3-真空软管；4-真空开关；5-弹性固定圈；11-螺母；

21-手持套杆；22-过渡套杆；23-内芯套管；231-连接孔；232-限位轴阶。

具体实施方式：

根据附图详细说明本实用新型的具体实施方式：

一种可伸缩的电池片吸取装置，如图1和图2所示，它由吸嘴1、伸缩杆2、真空软管3、真空开关4和弹性固定圈5组成，其中，伸缩杆2如图3所示，它由手持套杆21、过渡套杆22和内芯套管23组成，在内芯套管23的右端设有连接吸嘴1的连接孔231，在内芯套管23的左端设有限位轴阶232，连接孔231内侧设有螺纹，在吸嘴1待安装于内芯套管23一端固定安装有一螺母11，该螺母11的螺纹处于外侧，其将吸嘴1与内芯套管23形成螺旋式固定连接，真空软管3设置在手持套杆21、过渡套杆22和内芯套管23的内孔中，一端密封地套装吸嘴1的进气管上，另一端经真空开关4与真空气源相连，在内芯套管23的左端内孔中设有固定真空软管3的弹性固定圈5，在过渡套杆22的右端设有过渡内限位轴肩，所述过渡内轴肩的内径与内芯套管23的外径相对应，在过渡套杆22的左端设有过渡外限位轴肩，所述过渡外限位轴肩的外径与手持套杆21的内径相对应，在手持套杆21的右端设有外套内限位轴肩，所述外套内限位轴肩的内径与过渡套杆22的外径相对应，过渡套杆22套装在手持套杆21内，内芯套管23套装在过渡套杆22内。