[实用新型]一种板平面度测量装置

权利要求书

1.一种板平面度测量装置，其特征在于，所述板平面度测量装置包括：

运动控制装置，用于控制X、Y、Z三轴运动；

激光测量装置，用于测量板距离激光头的高度；

计算软件装置，用于根据计算公式验证板平面度是否在合适范围内；

显示装置，用于显示运动状态，输出平面度测量的结果；

三轴运动装置，所述三轴运动装置为X轴、Y轴、Z轴组成，三轴一起运动可以在空间运动；

所述激光测量装置与三轴运动装置Z轴机械固定连接，所述计算软件装置与运动控制装置、激光测量装置及显示输入装置电性连接，所述显示输入装置与运动控制装置电性连接，所述运动控制装置与三轴运动装置电性连接。

2.如权利要求1所述板平面度测量装置，其特征在于，所述X轴、Y轴、Z轴都是由步进电机或伺服电机驱动，分别带动激光测量装置水平左右方向、水平前后方向、上下方向。

3.如权利要求1所述板平面度测量装置，其特征在于，运动控制装置为多轴运动控制器或多轴运动控制卡。

4.如权利要求1所述板平面度测量装置，其特征在于，所述显示装置为显示屏。