[实用新型]一种热水脱胶机有效
申请号: | 201120498782.8 | 申请日: | 2011-12-05 |
公开(公告)号: | CN202332938U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 卢乙强 | 申请(专利权)人: | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 肖明芳 |
地址: | 215153 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 热水 脱胶 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅切片脱胶装置,特别是一种自动化高效率的热水脱胶机。
背景技术
单、多晶硅切片目前所使用线切割工艺需要使用玻璃作为媒介将晶托&工件板与晶棒连接(从下到上依次为晶棒、玻璃、工件板、晶托,晶棒与玻璃,玻璃与工件板均使用强力胶粘合,工件板与晶托使用螺丝锁立,晶托与工件板循环使用,玻璃为一次性耗材),待硅片与玻璃分离后需要将玻璃与工件板分离,目前工艺为拆除晶托之后将玻璃与晶托一起放入烘箱(300℃)烘烤180分钟,取出后敲击玻璃使其与工件板分离。现用工艺工作环境温度较高、气味较大、能耗较大、生产周期较长、对工件板损坏几率较高,且作业方式存在一定安全隐患。
实用新型内容
实用新型目的:本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足,提供一种热水脱胶机。
为了解决上述技术问题,本实用新型公开了一种热水脱胶机,包括机架和机械臂,机架两侧分别设置有上料台和下料台,上料台和下料台之间的机架内设有水槽;水槽上方设有进水管,下方设有排水管;机架内设有导轨,所述机械臂沿所述导轨移动。
本实用新型中,所述上料台和下料台上分别设有移动小车,所述移动小车的作用是将待脱胶的物品从上料台移动到机械臂下方,或者从机械臂下方移动至下料台。
本实用新型中,所述机械臂下方设有吊钩,吊钩上设有吊篮,将待脱胶的物品可以放置在吊篮内,从而方便物品移动和浸泡。
本实用新型中,所述水槽内设有加热器,由此可以将水槽内的水加热到需要的温度。
本实用新型中,所述机架上方设有玻璃罩,由于水槽工作时,温度高湿度大,且会产生一些特殊气味的气体,为了更好的保护使用者的身体健康,可以将自动机械化工作的部分密封在玻璃罩内。
本实用新型中,所述玻璃罩外设有风机,风机的风口连通玻璃罩内部,在玻璃罩上方连通有风机,可以起到降低温度湿度,排除不良气体的功能。
本实用新型中,所述上料台和下料台下方分别设有气缸,所述汽缸可以起到升降的功能。
有益效果:本实用新型使用水浴脱胶工艺,减少了人力,并缩短工艺周期,上料、下料、水槽温度、水煮时间、工装回流均采用自动化控制,且不需要将工件板与晶托拆解,可大幅度提升生产效率、降低员工劳动强度、改善工作环境、降低能耗。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明,本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。
图1是本实用新型正面结构示意图。
图2是本实用新型顶面结构示意图。
图3是本实用新型侧面结构示意图。
具体实施方式
如图1和图2所示,本实用新型公开了一种热水脱胶机,包括机架1和机械臂2,机架1两侧分别设置有上料台3和下料台4,上料台3和下料台4之间的机架内设有水槽5。所述上料台3和下料台4上各自设有一个移动小车9、10。所述上料台3和下料台4下方分别设有气缸15。水槽5上方设有进水管6,下方设有排水管7,水槽5为5个,对应的进水管龙头设置为5个,分别设置在对应水槽上方,每个水槽分别设有排水管,每个所述水槽内设有加热器16。机架1内设有导轨8,所述机械臂2沿所述导轨8移动,机械臂2下方设有吊钩11,吊钩11上设有吊篮12,带热脱胶的物品17放置在吊篮12内。所述机架1上方设有玻璃罩13。如图3所示,所述玻璃罩13外设有风机14(图1中未示出),风机14的风口连通玻璃罩内部。
本实用新型提供了一种热水脱胶机的思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的