[实用新型]新型气体限流装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种质量流量控制装置，尤其涉及一种新型气体限流装置。 

背景技术

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller,MFC）由质量流量计、控制器组成，不但具有流量计的功能，还能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动的将流量恒定在设定值上。质量流量计由气体限流装置通道、流量传感器和放大电路等部件组成，在质量流量计的基础上，再加上比例调节阀和PID控制电路就构成了质量流量控制器。 

现有技术中的质量流量控制器包括计量装置和控制系统。如图1所示，计量装置包括气体通道，气体通道内设有气体限流装置1并设有分流口，分流口上设有传感器2，传感器2将检测到的流量信号输入给控制单元。通过测量分流口内的流量，控制单元换算出总的流量，根据换算结果向控制阀发出控制信号，控制阀口的开度大小，进而控制流量的大小。 

现有技术中的质量流量控制器，气体限流装置1一般都是实心的，气体沿气体通道内壁与气体限流装置1外壁之间的间隙流动。 

上述现有技术至少存在以下缺点： 

易产生紊流，气流稳定性差，严重影响了质量流量控制器的准确度和稳定性。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单、使用方便，并能有效的改善气流稳定性的新型气体限流装置。 

本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的： 

本实用新型的新型气体限流装置，该装置的轴心部位设有通孔，所述通孔内设有分流管和/或分流柱。 

由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型所述的新型气体限流装置，由于该装置的轴心部位设有通孔，通孔内设有分流管和/或分流柱，当气体从通孔中流过时，能够有效的改善气流稳定性，结构简单、使用方便。 

附图说明

图1为现有技术中的气体质量流量控制器结构示意图； 

图2为本实用新型的新型气体限流装置的结构示意图。 

具体实施方式

本实用新型的新型气体限流装置，其较佳的具体实方式如图2所示，气体限流装置1的轴心部位设有通孔3，所述通孔3内设有分流管和/或分流柱4。 

所述分流管为空心的管状，所述分流柱为实心的柱状，多根分流管和/或分流柱平行塞进所述通孔中，且多根分流管和/或分流柱与所述通孔配合。 

气体质量流量控制器的气体通道中设有上述的新型气体限流装置后，当气体从通孔中流过时，能够有效的改善气流稳定性，结构简单、使用方便，能有效的改善气体质量流量控制的性能，提高控制气体流量的准确度。 

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。