[实用新型]TFT玻璃基板风干后的排气装置有效

专利信息
申请号: 201120502337.4 申请日: 2011-12-06
公开(公告)号: CN202337578U 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 王俊明;杜跃武;杨忠杰;马岩;李海东;冯增顺;齐少争;刘龙起 申请(专利权)人: 郑州旭飞光电科技有限公司;东旭集团有限公司
主分类号: B65G49/06 分类号: B65G49/06
代理公司: 郑州中原专利事务所有限公司 41109 代理人: 张春
地址: 450016 河南省郑*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: tft 玻璃 风干 排气装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃基板风干后排气装置,具体涉及一种TFT玻璃基板清洗、吹干之后的输出单元排气装置。

背景技术

由于目前玻璃基板清洗之后要在密闭的环境内进行风干(用风刀进行吹干),同时玻璃基板是被气浮条吹得处于悬浮状态,故内部的气体需在输出单元排出,如图1所示,基板2一侧有排风装置3(向外抽风的排风扇),此装置可以调整排风量,在输出单元玻璃基板2的传动依靠两边的锥形轮4和下面的气浮条1,气浮条1把基板2吹浮起来,边轮4带动基板2向前传动,而气浮条1吹出的气体是均匀地打在基板2下表面,气流由中间向两边发散,但在外罩5一测增加一个排风扇3后打破了这种气流平衡,这样悬浮起来的基板就会向一侧飘动,故在两侧边轮的带动下基板易出现走斜现象,使基板卡死在输出单元,对正常生产带来影响且对基板本身造成伤害。

发明内容

本实用新型针对清洗后的基板在输出单元易走斜的问题,提供一种玻璃基板清洗之后输出单元排气装置,使得基板下侧气流平衡,无走斜现象发生并且可以加快此单元内部气体循环速度。

为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:

一种TFT玻璃基板风干后的排气装置,包括外罩、对称设置在外罩两内侧的锥形传动轮和位于对称传动轮之间的气浮条及设置在外罩一侧的排风装置Ⅰ,所述外罩另一侧设置有与排风装置Ⅰ相对应的排风装置Ⅱ。

所述排风装置Ⅰ与排风装置Ⅱ排风量相同。

本实用新型在另一侧锥形传动轮上方设置有与排风装置Ⅰ相对称的排风装置Ⅱ,排风量大小相同,使得基板下侧的气流平衡,不会出现基板走斜现象,而且两边同时排风能加快输出单元内部空气的循环速度,也有利于基板颗粒的降低。

附图说明

图1为现有技术结构示意图。

图2本实用新型结构示意图。

具体实施方式

如图2所示,一种TFT玻璃基板风干后的排气装置,包括外罩10、对称设置在外罩10两内侧的锥形传动轮11和位于对称传动轮11之间的气浮条7及设置在外罩10一侧的排风装置Ⅰ8,外罩10另一侧设置有与排风装置Ⅰ8相对应的排风装置Ⅱ9,排风装置Ⅰ8与排风装置Ⅱ9排风量大小相同。

在输出单元上,玻璃基板6的传动靠的是两边的锥形轮11和下面的气浮条7,气浮条7把基板6吹浮起来,边轮11带动基板6向前传动,在外罩5两侧分别设置有排风装置Ⅰ8和排风装置Ⅱ9,其使得基板下侧气流平衡,本实用新型工作时,玻璃基板在正常情况下无再走斜现象,而且两边同时排风能加快输出单元内部空气的循环速度,也有利于基板颗粒的降低。

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