[实用新型]一种气相沉积用导流防尘控气盘

权利要求书

1.一种气相沉积用导流防尘控气盘，其特征在于，包括顶盖和侧壁，所述的侧壁的上端与顶盖外边缘固定连接，侧壁整体成喇叭状；在所述侧壁上设有水平出气通孔，在侧壁的底端外边缘水平设置有唇边；所述侧壁的底端敞口为控气盘气体进入端，反应气体通过该控气盘气体进入端进入控气盘，并沿所述侧壁上的水平出气通孔喷出。

2.根据权利要求1所述的导流防尘控气盘，其特征在于，所述的侧壁为多层圆环形阶梯结构；所述圆环形阶梯包括垂直连接壁，所述的水平出气通孔设在垂直连接壁上；两相邻的垂直连接壁之间是水平的或倾斜的环面。

3.根据权利要求2所述的导流防尘控气盘，其特征在于，所述垂直连接壁之间的水平或倾斜环面上设置有凹槽。

4.根据权利要求3所述的导流防尘控气盘，其特征在于，所述凹槽为环形凹槽。

5.根据权利要求2所述的导流防尘控气盘，其特征在于，所述垂直连接壁之间的倾斜环面与水平方向的夹角为20-40°。

6.根据权利要求2所述的导流防尘控气盘，其特征在于，所述的圆环形阶梯的层数为3～5层；优选为3层。

7.根据权利要求2所述的导流防尘控气盘，其特征在于，所述的圆环形阶梯的垂直连接壁高度相等。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的导流防尘控气盘，其特征在于，所述顶盖直径与控气盘气体进入端的直径比为1∶(2.5～3)。

9.根据权利要求8所述的导流防尘控气盘，其特征在于，所述顶盖直径与控气盘气体进入端的直径比为1∶2.5。