[实用新型]一种氟化氢HF气体含量检测装置

权利要求书

1.一种氟化氢HF气体含量检测装置，其特征在于，包括采样装置；

所述采样装置包括：

装有待检测气体的气室，所述待检测气体中包含HF气体；

固定于所述气室顶部的温度传感器和压力传感器；

所述检测装置还包括：

固定于所述气室的取样口处，通过所述取样口向气室内部发射激光束的激光发射器；

固定于所述气室的取样口处，通过所述取样口接收来自所述气室内部的激光束的激光接收器；

以及与所述温度传感器、所述压力传感器、所述激光发射器和所述激光接收器分别相连的，根据所述温度传感器和所述压力传感器分别采集的所述气室内的温度和压力信息计算出待检测气体的压缩比例，并控制位于所述气室内的活塞运动至与所述压缩比例相对应压缩位置的，在位于所述气室内的活塞运动至所述气室的压缩位置后，根据所述激光发射器通过所述取样口向所述气室内部发射的激光束光强，以及所述激光接收器接收的来自所述气室内部的激光束光强，计算出所述气室内部待检测HF气体含量值的中央处理系统。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述采样装置还包括与所述活塞相连的活塞杆。

3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述采样装置包括位于所述气室的进气口处并与所述气室相通的进气电磁阀，以及位于所述气室的排气口处并与所述气室相通的排气电磁阀。

4.如权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述采样装置还包括与所述排气电磁阀连通的单向阀以及与所述单向阀连通的排气口。

5.如权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述进气电磁阀与气体绝缘开关设备GIS的出气口相连。 

6.如权利要求5所述的检测装置，其特征在于，所述进气电磁阀与所述GIS的出气口通过三通阀相连，其中，所述进气电磁阀与所述三通阀的第一阀口相连，所述GIS的出气口与所述三通阀的第二阀口相连，所述三通阀的第三阀口与换气阀相连。

7.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述取样口为一个，所述激光发射器与所述激光接收器固定于所述取样口处，所述气室内壁设置有反射部件，所述激光接收器接收通过所述反射部件反射回的激光；

或，所述取样口为两个，所述两个取样口对称设置在所述气室的两个相对面上，所述激光发射器与所述激光接收器分别固定于不同的取样口处。

8.如权利要求1或7所述的检测装置，其特征在于，所述激光发射器与所述激光接收器通过法兰固定于所述气室的取样口处，并通过光缆与所述中央处理系统相连接。

9.如权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述中央处理系统与上位机相连，所述氟化氢HF气体的含量值在所述上位机显示。