[实用新型]具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备

权利要求书

1.一种具有多组晶圆电镀结构体的电镀槽组合改良设备，主要系在电镀槽内的隔槽内装设数根夹具头(11，12，13，14，15)、导电体(21，22，23，24，25)、隔板(31，32，33，34，35)与多孔板(F)、弱电解板(G1，G2)及波浪板(S)所组成，其特征在于，导电体由圆孔长方体上方装设一导电杆，而圆孔长方体的前端置入金属网后再装上圆孔方体所组装成，其导电体装设在隔板与间隔板之间与前端装设夹具头，而电镀槽的上方装设波浪板其下方装设一多孔板，其左侧装设弱地电解板，电镀槽左侧下方装设一出水口，而侧端面连接数根连接管、数个计量器、并以连接管连接加热器、过滤器、泵连接开关、计量器至电镀槽，以循环回流管作为回流进行电镀作业。

2.如权利要求1所述的电镀槽组合改良设备，其特征在于，电镀槽系指上盖板、底座板、侧板、间隔板及支撑板所组成并形成数个隔槽。

3.如权利要求1所述的电镀槽组合改良设备，其特征在于，圆孔长方体的上方两侧装设圆孔洞与下方装设一圆孔，而圆孔方体的中央亦装设一圆孔。

4.如权利要求1所述的电镀槽组合改良设备，其特征在于，弱电解板系由上端板下方连接两根支撑板再连接浪板，弱电解板系指上端板两侧为L型端面板及两者之间装设一多孔板体，弱电解板装设在隔槽内的右侧，弱电解板装设在隔槽内的左侧。

5.如权利要求1所述的电镀槽组合改良设备，其特征在于，所述的金属网选自钛金属网、铜金属网及镍金属网。