[实用新型]接头固定装置及炉管

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种接头固定装置及炉管。

背景技术

目前，在半导体生产工艺车间中，经常采用高温炉管来对产品进行热处理。

请参阅图1，现有的炉管包括一石英点火腔110、与所述石英点火腔110连通的横向管道120以及与所述横向管道120垂直连接的竖向管道130，所述竖向管道130上设有竖向安装的接头140。

然而，由于此接头140的安装方向是竖向的，即垂直向上的，使用一段时间后，接头140在自身的重力的作用下，容易发生从竖向管道脱落的现象，由此会造成高温炉管内的腐蚀性气体例如是二氯乙烯发生泄漏，导致工艺环境不稳定，造成大批产品报废，同时，会导致环境污染和人员受伤。

因此，如何提供一种可以有效防止接头的脱落的接头固定装置及炉管是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种接头固定装置及炉管，可以有效防止接头的脱落的接头固定装置，而且拆卸方便。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种接头固定装置，用于防止竖向安装于竖向管道的接头脱落，所述竖向管道与横向管道垂直连接，所述接头固定装置包括上固定件、下固定件和两根弹簧，所述上固定件和下固定件通过所述两根弹簧连接，所述上固定件压在所述横向管道的上壁，所述下固定件托在所述接头的下方。

优选地，在上述的接头固定装置中，每根弹簧的两端分别设有一个挂钩，所述上固定件与所述下固定件的两端分别设有一与所述挂钩相匹配的挂钩孔。

优选地，在上述的接头固定装置中，所述上固定件包括连接板和压板，所述连接板固定设置于所述压板的上方，所述压板压在所述横向管道的上壁。

优选地，在上述的接头固定装置中，所述压板与所述横向管道的上壁相接触部位设有一块垫片。

优选地，在上述的接头固定装置中，所述垫片通过内陷螺丝锁在所述压板上的与所述横向管道的上壁相接触部位。

优选地，在上述的接头固定装置中，所述压板与所述横向管道的上壁相接触部位是一弧形面。

优选地，在上述的接头固定装置中，所述连接板的两端分别设有一与所述挂钩相匹配的挂钩孔。

优选地，在上述的接头固定装置中，所述上固定件与所述下固定件对应设有多个与所述挂钩相匹配的挂钩孔。

优选地，在上述的接头固定装置中，所述下固定件是一具有一内陷式半圆环槽的托板。

本实用新型还公开了一种炉管，包括石英点火腔、与所述石英点火腔连通的横向管道以及与所述横向管道连接的竖向管道，所述竖向管道上设有竖向安装的接头，还包括如上所述的接头固定装置，所述上固定件压在所述横向管道的上壁，所述下固定件托在所述接头的下方。

本实用新型提供的接头固定装置及炉管，由于上固定件和下固定件通过两根弹簧连接，所述上固定件压在横向管道的上壁，所述下固定件托在接头的下方，因而，可以将接头的重力转嫁到所述横向管道上，防止接头由于重力作用而发生脱落。

附图说明

本实用新型的接头固定装置及炉管由以下的实施例及附图给出。

图1是现有炉管的局部示意图；

图2是本实用新型一实施例的炉管的局部示意图；

图3是本实用新型一实施例的接头固定装置的结构示意图；

图4是本实用新型一实施例的下固定件的结构示意图；

图5是本实用新型一实施例的连接板的仰视图；

图6是本实用新型一实施例的下固定件的俯视图。

图中，110-石英点火腔，120、220-横向管道、130、230-竖向管道、140、240-接头、310-上固定件、311-连接板、3111-挂钩孔、3112-螺孔、312-压板、320-下固定件、321-半圆环槽、322-挂钩孔、330-弹簧、340-垫片、

具体实施方式

以下将对本实用新型的接头固定装置及炉管作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。