[实用新型]一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置有效
| 申请号： | 201120512822.X | 申请日： | 2011-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN202430329U | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 翟剑庞;成关勇;黄镜蓁;吴焕逸 | 申请（专利权）人： | 中山兆龙光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/20 |
| 代理公司： | 中山市科创专利代理有限公司 44211 | 代理人： | 尹文涛 |
| 地址： | 528400 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 生长 尺寸 蓝宝石 单晶炉 机械 减震 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于：包括有单晶炉(1)和机械泵(2)，在所述的单晶炉(1)和机械泵(2)之间设有波纹管(3)，在所述的单晶炉(1)的支撑脚底部和机械泵(2)下面设有减震垫(4)。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫(4)为橡胶减震垫。
3.根据权利要求1或2所述的一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫(4)的厚度为20mm。
4.根据权利要求1或2所述的一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于设置在所述的机械泵(2)下面的减震垫(4)的规格为600*350mm。
5.根据权利要求1或2所述的一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于设置在所述的单晶炉(1)的支撑脚底部的减震垫(4)规格为200*200mm。
6.根据权利要求1或2所述的一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的单晶炉(1)底部设有四个支撑脚，在每个支撑脚底部分别设有减震垫(4)。
7.根据权利要求1或2所述的一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的波纹管(3)长度为1500mm。
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