[实用新型]一种提高单晶硅炉晶棒产量的装置有效
| 申请号： | 201120513280.8 | 申请日： | 2011-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN202509155U | 公开（公告）日： | 2012-10-31 |
| 发明（设计）人： | 朱仁德;刘旭峰 | 申请（专利权）人： | 北京天能运通晶体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/12 | 分类号： | C30B15/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 单晶硅 炉晶棒 产量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高单晶硅炉晶棒产量的装置，主要由炉体、石墨坩埚、石墨埚托、石墨托杆、石英坩埚、加热体和上、下及侧面保温层所组成，其特征在于：在石英坩埚外侧，石墨托杆上方所设的石墨坩埚，石墨坩埚由坩埚上与坩埚下两部分组成，石墨坩埚下端与石墨托杆上端直接连接成一体，石墨坩埚内放置石英坩埚。
2.按权利要求1所述的一种提高单晶硅炉晶棒产量的装置，其特征在于所述的石墨坩埚由埚上与埚下两部分组成，其埚上与埚下的高度比为1∶1。
3.按权利要求2所述的一种提高单晶硅炉晶棒产量的装置，其特征在于所述的石墨坩埚与石墨托杆直接相连接。
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