[实用新型]一种可变光程数的多光程干涉仪

权利要求书

1.一种可变光程数的多光程干涉仪，其特征在于：所述干涉仪包括前置光学系统、分束器、动臂多光程组件、静臂多光程组件、会聚镜，所述前置光学系统、分束器以及静臂多光程组件设置在同一光路上；所述动臂多光程组件、会聚镜与分束器设置在同一光路上。

2.根据权利要求1所述的可变光程数的多光程干涉仪，其特征在于：所述动臂多光程组件包括第一角镜和第一折返镜组；第一折返镜组设置于第一角镜的出射光路上；所述静臂多光程组件包括第二角镜和第二折返镜组；第二折返镜组设置于第二角镜的出射光路上。

3.根据权利要求2所述的可变光程数的多光程干涉仪，其特征在于：所述前置光学系统包括使目标辐射转变为平行光线的沿光线入射方向依次设置的会聚透镜、光阑和准直透镜。

4.根据权利要求1或2或3所述的可变光程数的多光程干涉仪，其特征在于：所述干涉仪还包括探测器系统和数据处理系统，所述探测器系统与会聚镜设置在同一光路上，所述数据处理系统与探测器系统连接。

5.根据权利要求4所述的可变光程数的多光程干涉仪，其特征在于：所述第一折返镜组、第二折返镜组包括多个反射器，所述多个反射器是一体式或合体式；所述多个反射器是二面角镜、立方角镜或猫眼镜。

6.根据权利要求5所述的可变光程数的多光程干涉仪，其特征在于：所述第一角镜和第二角镜是直线往复运动的单个、两个立方角镜或者多个立方角镜阵列形式。