[实用新型]可防止晶圆过反应的反应装置

权利要求书

1.一种可防止晶圆过反应的反应装置，包括反应槽和补水管，所述反应槽通过连接管路和厂务排放系统连接，所述补水管伸入所述反应槽内部，其特征在于，还包括缓冲罐、排放管和真空泵，所述缓冲罐设置于所述反应槽的下方，所述反应槽的底部开设一个排放口，所述排放管的一端接所述反应槽的排放口，所述排放管的另一端接所述缓冲罐，所述真空泵设置于所述缓冲罐和所述厂务排放系统的连接管路上。

2.根据权利要求1所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述排放口是圆形的，所述排放管和所述排放口的形状和大小相匹配。

3.根据权利要求1所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述排放管的直径大于或等于10mm。

4.根据权利要求1所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述缓冲罐的容积大于或等于所述反应槽的容积的2倍。

5.根据权利要求1所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述反应槽包括内槽和外槽，所述外槽并排设置于所述内槽的外侧，所述外槽的底部比所述内槽的底部高。

6.根据权利要求5所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述排放口设置于所述内槽的底部，所述补水管伸入所述内槽的内部，所述内槽和所述外槽分别通过管路与所述厂务排放系统连接。

7.根据权利要求6所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述内槽和所述外槽与所述厂务排放系统连接的管路上分别设有控制阀。

8.根据权利要求5所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述可防止晶圆过反应的反应装置还包括过滤器、加热器与加压泵，所述过滤器、加热器与加压泵依次设置于所述内槽和所述外槽之间的连接管路上。

9.根据权利要求1所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述补水管和所述排放管上分别设有控制阀。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的可防止晶圆过反应的反应装置，其特征在于，所述补水管至少有两根。