[实用新型]一种带有挡板的靶位溅射室有效
| 申请号： | 201120525793.0 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN202401123U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 张建 | 申请（专利权）人： | 佛山市中南罗森玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人： | 刘文求;杨宏 |
| 地址： | 521837 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 挡板 溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有挡板的靶位溅射室，其包括设置在靶位溅射室内的靶材，其特征在于，还包括设置在所述靶位溅射室两侧侧壁上的第一挡板和第二挡板，第一挡板和第二挡板的长度分别延伸至其所在侧的靶材边缘的切线处，所述靶材位于第一挡板和第二挡板之间连线的正上方。
2.根据权利要求1所述的靶位溅射室，其特征在于，所述第一挡板和第二挡板水平设置。
3.根据权利要求1所述的靶位溅射室，其特征在于，所述第一挡板和第二挡板朝向所述靶材向上倾斜设置。
4.根据权利要求1所述的靶位溅射室，其特征在于，所述第一挡板和第二挡板的横截面为弧形。
5.根据权利要求1至4任一所述的靶位溅射室，其特征在于，所述第一挡板和第二挡板上设置有回收靶材粒子的导槽。
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