[实用新型]用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置有效
申请号: | 201120527052.6 | 申请日: | 2011-12-16 |
公开(公告)号: | CN202382913U | 公开(公告)日: | 2012-08-15 |
发明(设计)人: | 钟晓龙 | 申请(专利权)人: | 杭州中泰深冷技术股份有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 冉国政 |
地址: | 311402 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氦气 检测 容器 密封性 装置 | ||
1.一种用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置,包括氦质谱检漏仪(1),顺次相连的真空滑阀泵(2)、罗茨泵(3)、高真空挡板阀(4)和集合管(5),及用于密封待测的多腔容器或多个容器且可充放氦气的密封装置,其特征在于:在所述集合管(5)上至少设有三个连接管路(6),每个所述连接管路(6)上设有用于关闭和开启该连接管路(6)的阀FA(7),在该阀FA(7)下方的连接管路(6)上设有与所述氦质谱检漏仪(1)可拆卸连接的接口JA(8),在该接口JA(8)上设有用于关闭和开启该接口JA(8)的阀FB(9),每个所述连接管路(6)的下端设有与待测容器入口可拆卸连接的接口JB(10)。
2.根据权利要求1所述的用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置,其特征在于:在所述罗茨泵(3)与高真空挡板阀(4)之间连有过渡段(11),在所述高真空挡板阀(4)与集合管(5)之间连有波纹管(12);所述密封装置包括一气囊(13),所述气囊(13)依次通过阀FC(14)、压缩机(15)和阀FD(16)与氦气罐(17)相连。
3.根据权利要求1所述的用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置,其特征在于:所述多腔容器为具有五个腔室的板翅式换热器(19),所述集合管(5)上自左至右设有第一连接管路(6)、第二连接管路(6)、第三连接管路(6)、第四连接管路(6)和第五连接管路(6)。
4.一种用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置,包括用于密封待测的多腔容器或多个容器且可充放氦气的密封装置,其特征在于:还包括顺次相连的真空滑阀泵(2)、罗茨泵(3)、高真空挡板阀(4)、集合管(5)、阀FE(18)和氦质谱检漏仪(1),在所述集合管(5)上设有至少三个连接管路(6),每个所述连接管路(6)上设有用于关闭和开启该连接管路(6)的阀FA(7),在该阀FA(7)下方的连接管路(6)上设有用于充氦的接口JA(8),在该接口JA(8)上设有用于关闭和开启该接口JA(8)的阀FB(9),每个所述连接管路(6)的下端设有与待测容器入口可拆卸连接的接口JB(10)。
5.根据权利要求4所述的用氦气检测多腔容器或多个容器密封性的装置,其特征在于:在所述罗茨泵(3)与高真空挡板阀(4)之间连有过渡段(11),在所述高真空挡板阀(4)与集合管(5)之间连有波纹管(12);所述密封装置包括一气囊(13),所述气囊(13)依次通过阀FC(14)、压缩机(15)和阀FD(16)与氦气罐(17)相连。
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