[实用新型]一种分子泵防护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空获得设备技术领域，特别是一种分子泵防护装置。 

背景技术

分子泵是一种常用的真空获得设备，主要用于获得10^-4pa以上的超高真空，近年来大批量地应用于工业领域。由于原材料存在杂质或加工组装过程中的不可控因素等，分子泵在抽调过程中偶尔会发生碎泵的情况。所谓碎泵是指分子泵在高速运转中，某个动片意外断裂后，引起其他动片、静片大面积破碎的现象。在发生碎泵后动片原有的动能会传递给泵体，进而将引起泵体飞出，可见如果在分子泵抽调和检测过程中发生碎泵引起泵体飞出将对生产安全造成极大的威胁。因此，在抽调和检测过程中，需要为分子泵安装相应的防护装置。

现有技术中的一种分子泵防护装置仅限于对立式分子泵的防护，如中国专利文献CN200975374Y中公开的立式轴流泵地脚螺栓，利用地脚螺栓等紧固零件将泵底盖固定在地面上。然而，这种防护装置只能用于立式分子泵的防护，而不能用于卧式分子泵和倒立式分子泵的防护。这是由于卧式分子泵和倒立式分子泵工作时，其泵体位置状态固定、不能任意改变角度。对于卧式分子泵而言，工作时其柱状面接触地面（现有的卧式分子泵的柱状面不具有泵腿等支撑部件），没法用螺栓等将其与地面固定；而对于倒立式分子泵，若使用地脚螺栓将其泵口与地面固定，那么每次打开分子泵之前都要先将地脚螺栓拆除，再打开泵口，非常麻烦。

为了解决上述防护装置通用性差，无法用于卧式分子泵和倒立式分子泵的问题，现有技术出现了其他形式的防护方法。一种方法是利用塑料带、布带等固定带将分子泵捆绑于额外配置的底座或重量较大的设备上，这种方法虽然操作简单方便，但是由于塑料带、布带等固定带的束缚力较小，使得这种方法的防护效果非常有限；另一种方法是在分子泵外围加装防护罩，采用这种方法首先要建造一个体积大小与泵体适应的防护罩，其设备建造成本比较高，占用空间也较大，而且往往需要与其他防护方式同时采用才能达到比较理想的安全防护效果。 

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中的防护装置防护效果不好或者建造成本较高，而提供一种防护效果好且成本较低的分子泵防护装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种分子泵防护装置，包括

基座，为板状，适于放置在平面上；

固定板，其一侧与所述基座可转动地连接，所述固定板的至少一个平面为固定面，所述固定面可与分子泵固定连接，所述固定板可连同所述分子泵在所述基座上转动。

上述防护装置中，所述固定面上成型有至少一条与至少一种分子泵口径相配合的环形沟槽，所述环形沟槽的外沿成型有一圈固定孔。

上述防护装置中，所述固定面与所述分子泵的泵口之间设有密封装置，所述密封装置为设置于所述环形沟槽内的密封圈。

上述防护装置中，所述固定面上成型有三条所述环形沟槽，三条所述环形沟槽分别与三种分子泵口径配合。

上述防护装置中，所述固定板的另一侧设置有手柄。

上述防护装置中，还包括设置于所述基座上的支撑机构和旋转机构；所述固定板通过所述旋转机构与所述基座可转动地连接；所述支撑机构设置在所述旋转机构的一侧或两侧，且所述固定板垂直于所述基座时所述支撑机构与所述固定面同侧设置，所述支撑机构用于支撑所述分子泵的泵体；

所述支撑机构包括，

支撑块底座，可滑动或可拆卸地固定于所述基座上；

至少一个支撑块，可拆卸地固定在所述支撑块底座上，所述支撑块的尺寸与所述分子泵的泵体尺寸相适应；

所述旋转机构包括，

转轴，可转动地设置在所述基座的表面并与所述基座的表面平行。

上述防护装置中，所述支撑块底座上设置有两个相互平行的所述支撑块，两个所述支撑块分别与两种泵体尺寸的所述分子泵配合。

上述防护装置中，所述支撑机构还包括橡胶垫，所述橡胶垫固定设置在所述支撑块与泵体接触的表面上。

上述防护装置中，所述固定板与所述基座可转动连接的一侧设置有旋转支腿，所述旋转支腿与所述转轴固定连接。

上述防护装置中，所述基座放置于水平面或固定于斜平面上。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：