[实用新型]粗糙测量仪的沟槽传感器

说明书

技术领域

本实用新型公开了粗糙测量仪的沟槽传感器，尤其涉及一种用于测量槽宽槽深的表面粗糙度的深槽传感器。属于电子测控仪器技术领域。 

背景技术

表面粗糙度一般是由所采用的加工方法和其他因素所形成的，例如加工过程中刀具与零件表面间的摩擦、切屑分离时表面层金属的塑性变形以及工艺系统中的高频振动等。由于加工方法和工件材料的不同，被加工表面留下痕迹的深浅、疏密、形状和纹理都有差别。表面粗糙度与机械零件的配合性质、耐磨性、疲劳强度、接触刚度、振动和噪声等有密切关系，对机械产品的使用寿命和可靠性有很大影响，特别是对运转速度快、装配精度高、密封性要求严的产品，更具有重要的意义。因此，一个能够高精测量各类工业现场表面粗糙度及形貌轮廓的测量仪器(传感器)对精工生产显得极有必要，但目前我国在用于粗糙测量仪上的传感器，种类少，精度不高，误差大，大大影响了测量精度。 

另外，在粗糙测量仪现有技术中，传感器全部一概而论，不能根据不同被测物的种类、规格针对性的选择传感器，导致有些被测物的测量值产生误差、估测，影响测量精度；或者传感器根本接触不到被测物，从而传感器不工作导致无法实现测量。 

随着工业的发展和对外开放与技术合作需要，现有技术中用于测量工件粗 糙度面的传感器已不能满足现状。 

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术中存在的不足之处，从而提供了一种用于测量槽宽槽深、平面、圆柱表面粗糙度的粗糙测量仪用沟槽传感器。 

本实用新型是通过如下的方法实现的： 

一种粗糙测量仪的沟槽传感器，其组成包括电感测头，所述电感测头101呈镰刀状。 

所述电感测头101所测的被测物102槽宽大于1mm。 

所述电感测头101所测的被测物102槽深为0～3mm。 

所述电感测头101包括触针和导头。 

所述触针尖端曲率半径小于2μm。 

深槽传感器的特点是用一只尖端曲率半径很小的触针与被测表面直接接触，以跟踪描绘出被测轮廓的几何形状，当触针尖端半径与表面的曲率半径相比为很小时，触针的移动会很准确地反映表面的形状，当曲率增大时，触针会跳过较小半径的曲率凹面，这样就减小了对短波长量的灵敏度，引起测量误差。对一台粗糙度测量仪来说，它所能相应的表面波长的上限是截止波长，即仪器能够相应的表面特征中的最长的间距，截止波长是根据测量对象的精度等级在0.08mm至0.8mm之间选择，而触针半径值限定了仪器能够响应的短波分量，一台仪器相应的范围是用截止波长和所能测量到的最短波长的比率，即带宽来表 示，带宽的大小和稳定与否，是仪器的主要精度指标。 

本实用新型结构简单可靠、测量精度高、无误差、外形小巧等优点。 

附图说明

图1结合被测物表示沟槽传感器结构组成 

具体实施方式

下面结合附图作进一步描述本实用新型： 

实施例1： 

一种粗糙测量仪的沟槽传感器，其组成包括电感测头，所述电感测头(101)呈镰刀状。 

进一步所述电感测头(101)所测的被测物(102)槽宽大于1mm；所述电感测头(101)的宽度为0～3mm；所述电感测头(101)的宽度为2mm。 

进一步所述电感测头(101)所测的被测物(102)槽深为0～3mm。所述电感测头(101)的深度为0～3mm；所述电感测头(101)的宽度为3mm。 

进一步所述电感测头(101)包括触针和导头。 

进一步所述触针尖端曲率半径小于2μm。 

进一步所述可测量槽宽大于3mm，槽深小于10mm的沟槽；或者高度小于10mm的台阶的表面粗糙度，也可测量平面、柱面粗糙度。